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什么是真空鍍膜設備的虛漏及漏孔?
一、虛漏:
虛漏是由于設計或制造加工工藝不當,在真空鍍膜設備內(nèi)形成貯存氣源的洞穴,這些氣體在真空環(huán)境下慢慢釋放出來,形同漏氣,簡稱虛漏。
例如,真空鍍膜設備內(nèi)的緊固螺釘沒有出氣孔,焊縫交叉設計,焊接不完善留有孔穴等都會造成虛漏現(xiàn)象。
二、漏孔:
漏孔是真空鍍膜設備內(nèi)的電真空器件中直徑微米數(shù)量級的小漏孔,空氣中的塵?;蛞后w都很容易造成漏孔的堵塞,這些就算你當時修理好了也是暫時性的,檢漏時好像不漏,但經(jīng)過抽氣之后,又會出現(xiàn)漏氣。
所以為了檢查,一定要仔細處理好檢漏部位,盡量不用手去摸被檢測區(qū)域,避免塵?;蛴椭氯┛住?/p>
氧化物怎么鍍膜?
氧化物鍍膜過程是很復雜的,但其主要影響因素就是鍍膜原料成膜的時候凝聚力、鍍膜與基材的吸附力及基材溫度,而三者之間又相互關聯(lián)約束。那氧化物的鍍膜到底是怎么個過程呢?下面我們就來聽聽真空鍍膜設備至成真空科技的講解!
從蒸發(fā)源射出的蒸汽流脫離蒸鍍原料表面的時候溫度很高,能量也比較高,在上升通過蒸發(fā)區(qū)到達基材表面的過程中,由于碰撞、運動中的能量交換導致動能下降,到達基材表面的粒子很快與基材交換能量,迅速沉積在其表面。
在鍍膜工藝中,離子轟擊改善基材的表面,在蒸發(fā)區(qū)建立等離子氣體以提高氣化微粒功能等輔助手段,較好地解決了鍍膜與基材結(jié)合牢固度的問題。其實在眾多的鍍膜工藝里,氧化物鍍膜工藝和程序是有非常大的難度的,因為它面臨著很多因素影響,環(huán)境和材料等等,但是氧化物的鍍膜工藝卻是受到廣大的企業(yè)生產(chǎn)的親睞。所以這種鍍膜工藝和設備的發(fā)展趨勢會越來越好!
四種常見的真空鍍膜材料
1.氧化物:一氧化硅SiO,二氧化硅SiO2,二氧化鈦TiO2,二氧化鋯ZrO2,二氧化鉿HfO2,一氧化鈦TiO,五氧化三鈦Ti3O5,五氧化二鈮Nb2O5,五氧化二鉭Ta2O5,氧化釔Y2O3,氧化鋅ZnO等高純氧化物鍍膜材料。
3.其它化合物:硫化鋅ZnS,硒化鋅ZnSe,氮化鈦TiN,碳化硅SiC,鈦酸鑭LaTiO3,鈦酸鋇BaTiO3,鈦酸鍶SrTiO3,鈦酸鐠PrTiO3,等真空鍍膜材料。
4.金屬鍍膜材料:高純鋁Al,高純銅Cu,高純鈦Ti,高純硅Si,高純金Au,高純銀Ag,高純銦In,高純鎂Mg,高純鋅Zn,高純鉑Pt,高純鍺Ge,高純鎳Ni,高純金Au,金鍺合金AuGe,金鎳合金AuNi,鎳鉻合金NiCr,鈦鋁合金TiAl,鋅鋁合金ZnAl,鋁硅合金AlSi等金屬鍍膜材料。
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