常用的兩種鍍膜方法 1，真空蒸發(fā)鍍膜，就是把材料用一些特定方式液化后，蒸發(fā)結(jié)晶于鏡片表面的方式。離子輔助鍍膜是指蒸發(fā)過程中，微粒離子化，增加均勻性和附著力和氧化程度的方法。2，濺射式鍍膜，是利用高電壓電離某些氣體，使之碰撞靶材增加能量，靶材能量到達(dá)一定程度噴射出來的鍍膜方式。離子濺射鍍膜是指在濺射能量來源為離子，并且微粒飛翔過程中有明顯離子狀態(tài)，并使用磁場控制其飛翔軌跡的鍍膜方式。

實驗室中使用小型鍍膜設(shè)備我們在實驗室中使用的基本上都是小型的鍍膜設(shè)備，下面我們就來了解一下這種設(shè)備。用作真空蒸發(fā)鍍的裝置稱為蒸發(fā)鍍膜機(jī)。蒸發(fā)鍍膜機(jī)主要由真空室、排氣系統(tǒng)、蒸發(fā)系統(tǒng)和電氣設(shè)備四部分組成。真空室是放置鍍件、進(jìn)行鍍膜的場所，直徑一般為400~700mm，高400~800mm，用不銹鋼或碳鋼制作，有水冷卻裝置。真空中制備膜層可防止膜料和鍍件表面的污染，消除空間碰撞，提高鍍層的致密性和可制備單一化合物的特殊功能的鍍層。為了提高鍍層厚度的均勻性，真空室內(nèi)的鍍件夾具有行星機(jī)構(gòu)或自轉(zhuǎn)加公轉(zhuǎn)的運動裝置，如用行星運動方式，這種運動方式成膜均勻性好，臺階覆蓋性能良好，鍍件裝載量大，可以充分利用真空鍍膜室的有效空間，是目前經(jīng)常采用的運動方式。排氣系統(tǒng)一般由機(jī)械泵、擴(kuò)散泵、管道和閥門組成。為了提高抽氣速率，可在機(jī)械泵和擴(kuò)散泵之間加機(jī)械增壓泵。因此，排氣系統(tǒng)既要求在較短的時間內(nèi)獲得低氣壓以保證快速的工作循環(huán)，也要求確保在蒸氣鍍膜時迅速排除從蒸發(fā)源和工作物表面所產(chǎn)生的氣體。

真空鍍膜設(shè)備的工作離不開相應(yīng)的監(jiān)測，那么如何監(jiān)測呢？下面一起來看看吧。1.目視監(jiān)控使用雙眼監(jiān)控，因為薄膜在成長的過程中，因為干涉現(xiàn)象會有色彩改變，我們即是依據(jù)色彩改變來操控膜厚度的，此種辦法有必定的差錯，所以不是很，需求依托經(jīng)歷。2.定值監(jiān)控法此辦法使用停鍍點不在監(jiān)控波長四分之一波位，然后由計算機(jī)計算在波長一時總膜厚之反射率是多少，此即為中止鍍膜點。3.水晶振動監(jiān)控使用石英晶體振動頻率與其質(zhì)量成反比的原理工作的?？墒鞘⒈O(jiān)控有一個欠好的地方即是當(dāng)膜厚添加到必定厚度后，振動頻率不全然因為石英自身的特性使厚度與頻率之間有線性關(guān)系，此刻有必要使用新的石英振動片。4.極值監(jiān)控法當(dāng)膜厚度添加的時候其反射率和穿透率會跟著起改變，當(dāng)反射率或穿透率走到極值點的時候，就能夠知道鍍膜之光學(xué)厚度ND是監(jiān)控波長（入）的四分之一的整倍數(shù)?？墒菢O值的辦法差錯對比大，因為當(dāng)反射率或許透過率在極值鄰近改變很慢，亦即是膜厚ND添加許多，R/T才有改變。反映對比的方位在八分之一波利益。