真空鍍膜過(guò)程的均勻性到底多重要？

真空鍍膜過(guò)程非常復(fù)雜，由于鍍膜原理的不同分為很多種類，僅僅因?yàn)槎夹枰哒婵斩榷鴵碛薪y(tǒng)一名稱。所以對(duì)于不同原理的真空鍍膜，影響均勻性的因素也不盡相同。并且均勻性這個(gè)概念本身也會(huì)隨著鍍膜尺度和薄膜成分而有著不同的意義。

薄膜均勻性的概念：

1、厚度上的均勻性，也可以理解為粗糙度，在光學(xué)薄膜的尺度上看(也就是1/10波長(zhǎng)作為單位，約為100A)，真空鍍膜的均勻性已經(jīng)相當(dāng)好，可以輕松將粗糙度控制在可見(jiàn)光波長(zhǎng)的1/10范圍內(nèi)，也就是說(shuō)對(duì)于薄膜的光學(xué)特性來(lái)說(shuō)，真空鍍膜沒(méi)有任何障礙。

但是如果是指原子層尺度上的均勻度，也就是說(shuō)要實(shí)現(xiàn)10A甚至1A的表面平整，是現(xiàn)在真空鍍膜中主要的技術(shù)含量與技術(shù)瓶頸所在，具體控制因素下面會(huì)根據(jù)不同鍍膜給出詳細(xì)解釋。

2、化學(xué)組分上的均勻性：

就是說(shuō)在薄膜中，化合物的原子組分會(huì)由于尺度過(guò)小而很容易的產(chǎn)生不均勻特性，SiTiO3薄膜，如果鍍膜過(guò)程不科學(xué)，那么實(shí)際表面的組分并不是SiTiO3，而可能是其他的比例，鍍的膜并非是想要的膜的化學(xué)成分，這也是真空鍍膜的技術(shù)含量所在。

3、晶格有序度的均勻性：

這決定了薄膜是單晶，多晶，非晶，是真空鍍膜技術(shù)中的熱點(diǎn)問(wèn)題，具體見(jiàn)下。

主要分類有兩個(gè)大種類：一、對(duì)于蒸發(fā)鍍膜：一般是加熱靶材使表面組分以原子團(tuán)或離子形式被蒸發(fā)出來(lái)，并且沉降在基片表面，通過(guò)成膜過(guò)程(散點(diǎn)-島狀結(jié)構(gòu)-迷走結(jié)構(gòu)-層狀生長(zhǎng))形成薄膜。

厚度均勻性主要取決于：1、基片材料與靶材的晶格匹配程度；2、基片表面溫度；3、蒸發(fā)功率，速率；4、真空度；5、鍍膜時(shí)間，厚度大小。

組分均勻性：蒸發(fā)鍍膜組分均勻性不是很容易保證，具體可以調(diào)控的因素同上，但是由于原理所限，對(duì)于非單一組分鍍膜，蒸發(fā)鍍膜的組分均勻性不好。

晶向均勻性：1、晶格匹配度;2、基片溫度;3、蒸發(fā)速率.

真空鍍膜機(jī)冷卻配套冷水機(jī)的作用

真空鍍膜機(jī)冷卻配套冷水機(jī)的作用是維持真空鍍膜機(jī)器的溫度，使其工作達(dá)到、率控制溫度的目的。以前在沒(méi)冷水機(jī)的情況下，自然水和水塔散熱都不可避免地受到自然氣溫的影響，而且此方式控制是極不穩(wěn)定的。因此，可以說(shuō)冷水機(jī)是真空鍍膜設(shè)備中非常重要的配套冷卻設(shè)備，因?yàn)槔渌畽C(jī)直接關(guān)系到真空鍍膜機(jī)工作效果的好壞。

真空鍍膜機(jī)為什么要配套冷水機(jī)？

這個(gè)要從真空鍍膜工作原理查看：膜料在高溫下蒸發(fā)落在工件表面結(jié)晶。由于空氣對(duì)蒸發(fā)的膜料分子會(huì)產(chǎn)生阻力造成碰撞使結(jié)晶體變得粗糙無(wú)光，所以必須在高真空下才能使結(jié)晶體細(xì)密光亮，如果真空度不高結(jié)晶體就會(huì)失去光澤，結(jié)合力也很差。

冷水機(jī)設(shè)有制冷系統(tǒng)和冷卻水循環(huán)系統(tǒng)，水溫在5℃～30℃范圍內(nèi)調(diào)節(jié)控制，可以達(dá)到、率控制溫度的目的。其冷卻原理是：制冷系統(tǒng)將水冷卻，再由水泵將低溫冷卻水送入真空鍍膜機(jī)進(jìn)行降溫，冷水機(jī)冷凍水將熱量帶走后溫度升高再回流到水箱，達(dá)到冷卻的作用。

給真空鍍膜設(shè)備的真空泵換油該怎么做？

在使用真空鍍膜設(shè)備時(shí)，對(duì)機(jī)器的保養(yǎng)工作是十分重要的。他能有效提高機(jī)器的壽命，那么對(duì)于其中的真空泵的換油工作，究竟該如何呢？我們通常在機(jī)器工作3個(gè)月時(shí)間左右，就要對(duì)機(jī)器的油進(jìn)行更換，在比較濕潤(rùn)的地方或者濕潤(rùn)的氣候，這種地方的空氣對(duì)于真空泵中的潤(rùn)滑油的污染是非常嚴(yán)重的，所以我們要根據(jù)情況縮短更換潤(rùn)滑油的時(shí)間?，F(xiàn)在我就為您介紹下關(guān)于真空泵換油的操作。

我們首先要做的就是把真空泵從真空電鍍系統(tǒng)中拆出來(lái)。將底盤電機(jī)一端墊高些，打開(kāi)放油塞放油，轉(zhuǎn)動(dòng)真空泵、捂住排氣口，使腔內(nèi)污油全部從放油口放出。再?gòu)倪M(jìn)氣口處加入新油100—500ml持續(xù)轉(zhuǎn)動(dòng)5—10轉(zhuǎn)以上，對(duì)內(nèi)部進(jìn)行清洗。照此操作3—5次，等到污油放清后，再裝上放油塞，將真空泵放平從進(jìn)氣口及加油孔分別加入新油，換油即告完畢。真空泵換油的是不適宜長(zhǎng)久的開(kāi)動(dòng)電機(jī)，以避免使排氣閥片跳動(dòng)太過(guò)于劇烈和疲勞。嚴(yán)禁使用煤油、酒精等對(duì)泵作非拆卸的清洗。