真空鍍膜機(jī)漏氣檢修

真空電鍍?cè)O(shè)備漏氣問(wèn)題我們應(yīng)該如何進(jìn)行檢修呢？真空電鍍?cè)O(shè)備漏氣對(duì)于設(shè)備本身是有大的影響的，因此我們要及時(shí)的進(jìn)行檢修維護(hù)。

1、要測(cè)試好真空室內(nèi)氣體密封性能的比例，確保氣密性能夠符合要求。

2、然后檢查真空鍍膜漏孔大小、形狀和漏氣速度，分析出解決方案并且可以實(shí)施。

3、要確認(rèn)真空電鍍漏氣是真漏還是虛漏，因?yàn)樵诠ぜ牧霞訜嶂髸?huì)在不同程度上產(chǎn)生一定的氣體，有時(shí)候會(huì)誤以為是從外部流進(jìn)的氣體，這就是虛漏，我們要排除這種情況。

4、確定檢測(cè)儀器小的檢漏率和撿漏靈敏性，以大范圍檢測(cè)出漏氣的情況，避免一些漏孔被忽略，提高檢漏的準(zhǔn)確性。

5、后還要避免真空電鍍漏孔的堵塞，有時(shí)候因?yàn)椴僮魇д`，真空電鍍?cè)趽炻┲校瑫?huì)有一些灰塵或液體等把漏孔給堵塞了，以為在那位置沒(méi)有漏孔，但當(dāng)這些堵塞物由于內(nèi)外的壓強(qiáng)差異提高或會(huì)使漏孔不堵了，但是漏氣還是會(huì)存在的。

真空鍍膜設(shè)備故障排除及檢漏方法

真空鍍膜設(shè)備故障排除及檢漏方法在真空鍍膜設(shè)備正常工作時(shí),主開(kāi)關(guān)電路中的開(kāi)關(guān)管處于飽和導(dǎo)通狀態(tài),管壓降保持在100V左右,柵極得到正偏壓50V,高壓指示6kV(或10kV)。從檢測(cè)電路R21上得到的電壓控制信號(hào)不足以使D13穩(wěn)壓管擊穿導(dǎo)通,BG14、BG15、BG16處于截止?fàn)顟B(tài),而B(niǎo)G11、BG12、BG13處于導(dǎo)通狀態(tài),由BG11輸出一個(gè)2.5V左右的高電位。柵壓切換電路上的BG10得到2.5V的電壓控制信號(hào)而處于導(dǎo)通狀態(tài),使得BG9的基極電位變?yōu)?電位而截止,主開(kāi)關(guān)管通過(guò)D6、D7得到正向50V偏置的電壓。同時(shí)BG7、BG8也處于導(dǎo)通狀態(tài),D8穩(wěn)壓管擊穿導(dǎo)通,提供主開(kāi)關(guān)管柵極恒定的電流。由于BG10處于導(dǎo)通狀態(tài),使得簾柵控制電路的BG4的基極處在0電位而截止,簾柵壓的大小受高壓分壓器信號(hào)UR2的控制。當(dāng)UR2<UD2時(shí),輸出的簾柵壓的大小是隨UR2的變化而變化。

在真空鍍膜設(shè)備不正常情況下,增加束流時(shí),由于束斑的位置不在中心,電子束可能會(huì)打到坩堝的邊緣,或者束斑的位置在中心,但蒸鍍的材料被打穿等原因,都會(huì)出現(xiàn)高壓無(wú)指示。這是由于高壓輸出被近似短路,造成電子束流大于預(yù)定值,主開(kāi)關(guān)管處于截止?fàn)顟B(tài),承受全部高壓,使得高壓無(wú)輸出。由于打火而造成過(guò)大的束流,在電流檢測(cè)電路R21取得的過(guò)流信號(hào),使得D13穩(wěn)壓管被擊穿導(dǎo)通,BG14、BG15、BG16處于導(dǎo)通狀態(tài),C13通過(guò)BG14、R51放電,使得BG11、BG12、BG13很快截止,BG11輸出為0V。柵壓切換電路上的BG10得到0V的輸入信號(hào)而截止,BG9立刻導(dǎo)通,550V正端通過(guò)BG9接到主開(kāi)關(guān)管的陰極,負(fù)端通過(guò)D5管接到主開(kāi)關(guān)管的柵極,主開(kāi)關(guān)管得到-550V偏壓而進(jìn)入深度截止,此時(shí)高壓就沒(méi)有指示了。

真空鍍膜機(jī)原理和各部件分析

機(jī)械泵：也叫前級(jí)泵，機(jī)械泵是應(yīng)用廣泛的一種低真空泵，它是用油來(lái)保持密封效果并依靠機(jī)械的方法不斷的改變泵內(nèi)吸氣空腔的體積，使被抽容器內(nèi)氣體的體積不斷膨脹從而獲得真空。

1、機(jī)械泵的分類：機(jī)械泵有很多種，常用的有滑閥式(此主要應(yīng)用于大型設(shè)備)、活塞往復(fù)式、定片式和旋片式(此目前應(yīng)用廣泛，本文主要介紹)四種類型。

2、機(jī)械泵是從大氣開(kāi)始工作的，它的主要參數(shù)有極限真空，抽氣速率，此為設(shè)計(jì)與選用機(jī)械泵的重要依據(jù)。單級(jí)泵可以將容器從大氣抽到1、0*10-1PA的極限真空，雙級(jí)機(jī)械泵可以將容器從大氣抽到6、7*10-2帕，甚至更高

3、機(jī)械泵常常被用來(lái)抽除干燥的空氣，但不能抽除含氧量過(guò)高和腐蝕性的氣體，機(jī)械泵一般被用來(lái)抽除氣體，但是對(duì)水氣沒(méi)有好的效果，所以它不能抽除水氣。旋片泵中起主要作用的部件是彈片、定子、轉(zhuǎn)子等，轉(zhuǎn)子在定子里面但與定子不同心軸，象兩個(gè)內(nèi)切圓，轉(zhuǎn)子槽內(nèi)裝有兩片彈片，兩彈片中間裝有彈簧，保證了彈片緊緊貼在定子的內(nèi)壁。