它有如下幾種型式。（1）蒸發(fā)離子泵：泵內(nèi)被電離的氣體吸附在以間斷或連續(xù)方式升華（或蒸發(fā)）而覆在泵內(nèi)壁的吸氣材料上，以實現(xiàn)抽氣的一種真空泵。（2）濺射離子泵：泵內(nèi)被電離的氣體吸附在由陰極連續(xù)濺射散出來的吸氣材料上，以實現(xiàn)抽氣目的的一種真空泵。低溫泵：利用低溫表面捕集氣體的真空泵按其真空度可以分為：粗真空、高真空、超高真空三大類。

②干式螺桿真空泵：它是一種不用油類（或液體）密封的變?nèi)菡婵毡谩＂垡涵h(huán)式真空泵：帶有多葉片的轉(zhuǎn)子偏心裝在泵殼內(nèi)，真空爐，當它旋轉(zhuǎn)時，把液體（通常為水或油）拋向泵殼內(nèi)形成泵殼同心的環(huán)液，環(huán)液同轉(zhuǎn)子葉片形成了容積周期性變化的幾個小容積，故亦稱旋轉(zhuǎn)變?nèi)菡婵毡谩＂芰_茨真空泵：泵內(nèi)裝有兩個相反方向同步旋轉(zhuǎn)的雙葉形或多葉形的轉(zhuǎn)子，河南真空爐，轉(zhuǎn)子間、轉(zhuǎn)子同泵殼內(nèi)壁之間均保持一定的間隙。它屬于旋轉(zhuǎn)變?nèi)菡婵毡?。機械增壓泵即為這種形式的真空泵。

優(yōu)點：相比旋片式真空泵耐用性要高好幾倍且抽氣速率大，真空爐公司，價格相對高一點。用來抽除密閉容器的氣體的基本設備之一。它可以單獨使用，也可作為增壓泵、擴散泵、分子泵的前級泵使用。該型泵廣泛應用于冶金、機械、電子、化工、石油、等行業(yè)的真空冶煉、真空鍍膜、真空熱處理，真空干燥等工藝過程中。真空泵旋片式真空泵具有結(jié)構(gòu)緊湊，體積小，重量輕，噪音低，振動小等優(yōu)點。


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