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氦質(zhì)譜檢漏儀的真空系統(tǒng)
氦質(zhì)譜檢漏儀真空系統(tǒng)一般包括:
1、主泵:一般用護(hù)散泵或渦輪分子泵。極限壓力小于5×10-4Pa,正壓氦質(zhì)譜檢漏儀哪家好,其抽速應(yīng)導(dǎo)氣載匹配。
2、前級真空泵:一般采用旋片式機(jī)械真空泵,在以分子泵為主泵的系統(tǒng)中也有采用薄膜泵或干泵的。極限壓力小于1×10-1Pa,抽速導(dǎo)主泵匹配。
3、預(yù)抽真空泵:一般與前級真空泵共用一個(gè)泵,也有預(yù)抽真空泵的。預(yù)抽真空泵一般采用旋片式機(jī)械真空泵,正壓氦質(zhì)譜檢漏儀哪家好,其抽速視被檢件大小而定,因此預(yù)抽真空泵大都由用戶自配。
4、冷阱:分子泵型真空系統(tǒng)一般不加冷阱。護(hù)散泵型真空系統(tǒng)的冷阱加在質(zhì)譜室、檢漏口與擴(kuò)散泵之間,使三者被冷阱隔離。冷阱加入液氦(-196℃)后便可阻止擴(kuò)散泵的油蒸氣和被檢件來的水蒸氣進(jìn)入質(zhì)譜室,保持質(zhì)譜室的清潔,并幫助擴(kuò)散泵迅速獲得較高真空。
氦質(zhì)譜檢漏儀的優(yōu)點(diǎn)介紹
靈敏度高,還具有適應(yīng)范圍廣、定位定量準(zhǔn)確、無毒、安全、反應(yīng)速度快等優(yōu)點(diǎn)。當(dāng)磁場的磁通密度一定時(shí),不同質(zhì)荷比(m/e)的離子在磁場中都有相應(yīng)的運(yùn)輸半徑,正壓氦質(zhì)譜檢漏儀哪家好,也就是都有相應(yīng)的圓軌跡,這樣,不同質(zhì)荷比的帶電粒子在磁場分析器中運(yùn)動后就會彼此分開。如果在離大運(yùn)動的路徑中安置一塊檔板將其他離子檔掉,而在對應(yīng)的氦離子運(yùn)動半徑位置的檔板上開一狹縫,狹縫后安置離子接收極,氦質(zhì)譜檢漏儀哪家好,這樣的只有氦離子才能通過狹縫而被接收極接收形成氦離子流,并經(jīng)放大器放大后由測量儀表指示出來。檢漏時(shí),如果用氦氣噴吹漏孔,氦氣便通過漏孔進(jìn)入檢漏儀的質(zhì)譜室中,使檢漏儀的測量儀表立即靈敏地反應(yīng)出來,達(dá)到了檢漏的目的。
氦質(zhì)譜檢漏儀產(chǎn)品介紹
1.采用便攜式設(shè)計(jì),2.設(shè)備外型美觀小巧,3.采用液晶觸摸屏設(shè)計(jì),4.有通訊接口,5.可以方便地將檢漏數(shù)據(jù)輸出。用于電廠檢漏的氦質(zhì)譜檢漏儀。關(guān)鍵部件均為進(jìn)口,性能。不僅靈敏度高,而且操作方便,能夠雙燈絲自動切換、自動調(diào)零、自動校準(zhǔn)和自動量程切換。環(huán)境溫度:5~35℃相對濕度: <80%供電電壓:單相交流220V±10%,50Hz大工作電流:10AJSJ-242型氦質(zhì)譜檢漏儀。
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