因此將廢氣以一般風(fēng)車抽至大氣排放至大氣環(huán)境而不需處理。酸堿性排氣：其主要來(lái)源于化學(xué)清洗工作站，清洗晶片時(shí)所產(chǎn)生之揮發(fā)性氣體，此氣體部分含有濃煙，部分則對(duì)呼吸系統(tǒng)有刺激性作用有害人體，故必須經(jīng)過(guò)水洗中和處理，再由風(fēng)機(jī)排入大氣。

排氣：其主要來(lái)源于涂膠、顯影工序和各工序使用清洗過(guò)程時(shí)所產(chǎn)生，需經(jīng)有機(jī)廢氣處理設(shè)備處理后，通風(fēng)管，再由風(fēng)機(jī)排入大氣。

1) 送風(fēng)，包括通氣，如送鮮風(fēng)和排氣，這個(gè)范圍較廣，排煙風(fēng)管，如工廠車間，生產(chǎn)場(chǎng)地空氣，由于有害氣體產(chǎn)生需要排出室外，風(fēng)管安裝，又需要把室外空氣輸送至室內(nèi)。這時(shí)就要使用流量大而壓力小的空氣輸送管道，隨州風(fēng)管，螺旋風(fēng)管就比較適用，一般情況下使用鍍鋅鐵管，有腐蝕性及特別潮濕場(chǎng)所使用不銹鋼管。

(2) 送冷風(fēng)。常見的是中央空調(diào)的管道，這種管道需要加保溫材料。螺旋風(fēng)管可內(nèi)貼保溫材料，外表看來(lái)美觀。

1、真空吸污

用類似有手握式的真空吸污管來(lái)操作。用刷子直接接觸管道內(nèi)壁以清除污物。這種方法需要風(fēng)管有較大的檢修孔使操作的人員能夠盡可能夠得到但這種方法可能漏掉一局部塵土和污物，因?yàn)轱L(fēng)管不能形成完全的負(fù)壓條件。

2、動(dòng)力洗刷

用氣動(dòng)或者電動(dòng)的毛刷將臟污刷動(dòng)，然后污物用和氣體沖洗相同的方法和方向被吸到真空收集器中。這種方法要求盡可能的小心不至于破壞保溫資料的外表。

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