氣的特點(diǎn)
常用的惰性氣體是氣。它是一種五色無味的氣體，在空氣的含量為0．935％(按體積計算)，的沸點(diǎn)為－186℃，銅陵標(biāo)準(zhǔn)氣體，介于氧和氦的沸點(diǎn)之間。是氧氣廠分餾液態(tài)空氣制取氧氣時的副產(chǎn)品。  我國均采用瓶裝氣用于焊接，在室溫時，其充裝壓力為15MPa。鋼瓶涂灰色漆，并標(biāo)有“氣”字樣。純的化學(xué)成分要求為：Ar≥99．99％；He≤0．01％；O2≤0．0015％；H2≤0．0005％；總碳量≤0．001％；水分≤30mg／m3。
高純氣體產(chǎn)品的“純度”含義又是什么呢

筆者認(rèn)為， 所謂高純氣體純度是通過規(guī)定方法直接測得或扣除規(guī)定雜質(zhì)計算求得的濃度值。這種規(guī)定是生產(chǎn)者和用戶依據(jù)生產(chǎn)過程和使用目的共同協(xié)商的結(jié)果。評價高純氣體的質(zhì)量， 除進(jìn)行“純度”指標(biāo)評價外， 還需依據(jù)標(biāo)準(zhǔn)對規(guī)定雜質(zhì)進(jìn)行逐一核對。任何一項(xiàng)超出規(guī)定的要求，硫化氫標(biāo)準(zhǔn)氣體， 都不能稱之為合格品。一般高純氣體供應(yīng)系統(tǒng)目前主要有三種形式：1. 現(xiàn)場制氣，管道輸送供氣；2.外購液態(tài)氣體，標(biāo)準(zhǔn)氣體多少錢，氣化后管道輸送供氣；3.外購氣體鋼瓶，用氣體鋼瓶(組)供氣。

電子氣體(Elect ron ic gases) ：半導(dǎo)體工業(yè)用的氣體統(tǒng)稱電子氣體。按其門類可分為純氣、高純4 _6 m p- _4氣和半導(dǎo)體特殊材料氣體三大類。特殊材料氣體主要用于外延、摻雜和蝕刻工藝；高純氣體主要用作稀釋氣和運(yùn)載氣。電子氣體是特種氣體的一個重要分支。電子氣體按純度等級和使用場合，可分為電子級、L S I (大規(guī)模集成電路) 級、VL S I (超大規(guī)模集成電路) 級和UL S I (特大規(guī)模集成電路)級。
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