其中主要應用于半導體集成電路的消費制造。在半導體工業(yè)中應用的有110余種單元特種氣體，其中常用的有20~30種。在集成電路制造應用方面詳細包括集成電路芯片制程、化學氣相堆積和氣體應用、刻蝕和氣體應用、摻雜和氣體應用。

　　在太陽能電池應用方面詳細包括太陽能電池的應用、晶體硅太陽能電池消費工藝和氣體應用、薄膜太陽能電池消費工藝和氣體應用；在化合物半導體應用方面詳細包括化合物半導體的應用、MOCVD/LED消費工藝和氣體應用。

目前，特種氣體公司，國內(nèi)共有特種氣體生產(chǎn)企業(yè)150余家，多數(shù)企業(yè)生產(chǎn)規(guī)模較小?？鐕髽I(yè)已經(jīng)在國內(nèi)投資設(shè)立了眾多合資或獨資的氣體公司，占國內(nèi)銷售氣體產(chǎn)品市場份額的70%左右。外資通過收購、新設(shè)等方式建立氣體公司，特種氣體價格，占據(jù)著行業(yè)主導地位。2010年，德國德林公司i、法國液化空氣集團、美國普萊克斯集團等設(shè)立的獨資和合資企業(yè)以32.38%的企業(yè)數(shù)量占據(jù)著國內(nèi)特種氣體市場65.90%的銷售市場和83.08%的利潤市場。中國氣體行業(yè)的競爭實質(zhì)上是國際氣體行業(yè)巨頭與國內(nèi)民族氣體工業(yè)企業(yè)的競爭。

影響標準氣體量值穩(wěn)定的因素：

1、氣瓶和閥門材料 在氣體充裝前， 要充分考慮到氣體各組分與氣瓶材料， 閥門及密封材料的相容性， 作為標準氣體的包裝容器， 碳鋼，鋁合金材料已被廣泛應用。不同濃度，特種氣體，不同組分的標準氣體是否和氣瓶材料或閥門材料相容，特種氣體有哪些， 直接影響到標準氣體的質(zhì)量。如氟i化氫，氯i化氫，氟i氣，氯i氣， 氯甲i烷，氯乙i烷，CH3-Br等與鋁產(chǎn)生反應， 不能用鋁合金氣瓶直接盛裝。一定濃度的腐蝕性氣體不能選擇銅閥而需要選擇不銹鋼閥。

2、氣瓶處理方法 用于盛裝標準氣體的氣瓶， 內(nèi)表面需進行常規(guī)處理和特殊處理， 以保證標準氣體量值的穩(wěn)定。處理方法包括加熱除去氣瓶內(nèi)的水分， 抽真空置換除去空氣及其他雜質(zhì)氣體， 內(nèi)表面涂層使氣瓶內(nèi)表面減少與組份氣體的物理吸附或化學反應；內(nèi)表面鈍化使氣瓶內(nèi)表面具有好的惰性， 有利于活潑性氣體混合物的量值穩(wěn)定。對于微量活潑性氣體， 正確地選擇氣瓶處理方法是制備標準氣體的關(guān)鍵。

3、組成混合氣體各組份原料氣的純度及雜質(zhì)。除了材料相容性和進行適當?shù)臍馄刻幚硗猓?原材料的純度是另一個值得注意的問題、如果原料中含有和配制組份相同的雜質(zhì)， 雜質(zhì)的準確定量就直接影響到組分的量值、如制備氮氣為背景氣的1ppm二氧化碳標準氣體， 除了要知道組分氣的純度外，還要知道高純氮氣中CO2的含量。這樣才能給出CO2的準確量值。

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