干式螺桿真空泵由于其優(yōu)越的性能，在歐美和日本已經(jīng)成為微電子、半導(dǎo)體、制藥、精密加工等行業(yè)優(yōu)選真空獲得設(shè)備，日本在螺桿壓縮機(jī)基礎(chǔ)上，很早就研發(fā)出了真空泵的多頭轉(zhuǎn)子型線，并投入市場(chǎng)。德國(guó)幾家真空設(shè)備公司也逐步的開發(fā)出了等螺距、變螺距轉(zhuǎn)子型線，并在轉(zhuǎn)子和機(jī)體冷卻方面做了很多研究。中國(guó)企業(yè)在2008年也將螺桿真空泵的生產(chǎn)進(jìn)入批量化生產(chǎn)，在化工制藥等行業(yè)得到很好的應(yīng)用。在1999年底正式推出的螺桿式無(wú)油壓縮真空泵是一種專門為工業(yè)應(yīng)用(非半導(dǎo)體應(yīng)用)設(shè)計(jì)的干式泵，它是一種全新的設(shè)計(jì)，是專門用來(lái)解決工業(yè)應(yīng)用中艱苦的真空問(wèn)題，如粉塵、焦油等。此泵也是采用變螺距轉(zhuǎn)子，有內(nèi)壓縮過(guò)程，泵腔內(nèi)無(wú)軸承和密封，極大降低了故障率，泵腔內(nèi)沒(méi)有內(nèi)部閥門，因而耐粉塵和焦油能力強(qiáng)，合肥質(zhì)譜真空泵，此泵的螺桿采用內(nèi)部中空冷卻，可以降低轉(zhuǎn)子溫度和熱變形，合肥質(zhì)譜真空泵，合肥質(zhì)譜真空泵，螺桿壽命長(zhǎng)。真空泵是一種旋轉(zhuǎn)式變?nèi)荩婵毡庙氂星凹?jí)泵配合方可使用在較寬的壓力范圍內(nèi)有較大的抽速。合肥質(zhì)譜真空泵

真空泵油的抗乳化性：真空泵在運(yùn)轉(zhuǎn)過(guò)程中，系統(tǒng)內(nèi)的水分與冷氣領(lǐng)會(huì)排入泵油中， 假如真空泵油的抗乳化性不好，它將與混入的水構(gòu)成乳化液，使水不易從循環(huán)油箱的底部放出，從而可能形成真空度降落和光滑不良。因而抗乳化性是工業(yè)光滑油的一項(xiàng)很重要的理化性能。特別在醫(yī)藥、食品、陶瓷等工業(yè)運(yùn)用真空枯燥過(guò)程中，泵油的抗乳化性能更至關(guān)重要?？谷榛院玫谋糜陀退畡e離才能強(qiáng)，水蒸汽和冷凝氣體經(jīng)過(guò)開啟氣鎮(zhèn)閥，會(huì)排出局部水蒸汽。另外，低粘度泵油的抗乳化才能比高粘度泵油要好。合肥質(zhì)譜真空泵常用真空泵包括干式螺桿真空泵、水環(huán)泵、往復(fù)泵、滑閥泵、旋片泵、羅茨泵和擴(kuò)散泵等。

螺桿真空泵的結(jié)構(gòu)：傳動(dòng)軸連接主動(dòng)轉(zhuǎn)子，通過(guò)同步齒輪帶動(dòng)從動(dòng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)，在殼體上開有冷卻水通道，用來(lái)冷卻轉(zhuǎn)子和排氣口溫度，同步齒輪及軸承用油潤(rùn)滑，軸承和殼體內(nèi)部通過(guò)密封件來(lái)密封以達(dá)到無(wú)油的效果。干式螺桿真空泵同無(wú)油螺桿壓縮機(jī)在密封和潤(rùn)滑上結(jié)構(gòu)類似，一般真空泵的排氣端用機(jī)械式密封件，進(jìn)氣側(cè)通常用雙唇形密封件。在傳動(dòng)方式上，通用的是直連電機(jī)，用聯(lián)軸器與轉(zhuǎn)子連接，極少數(shù)用皮帶或者傳動(dòng)鏈傳動(dòng)。 等螺距螺桿泵由于無(wú)內(nèi)壓縮過(guò)程，排氣溫度非常高，如冷卻效果不好，會(huì)造成轉(zhuǎn)子和機(jī)殼變形，影響抽氣效果。冷卻機(jī)殼是必不可少的一個(gè)環(huán)節(jié)，水冷是比較常見的方法，在機(jī)殼本體、軸承外側(cè)通冷卻水，可以達(dá)到冷卻殼體進(jìn)而冷卻轉(zhuǎn)子的目的。

擴(kuò)散泵：以低壓高速蒸汽流（油或汞等蒸汽）作為工作介質(zhì)的噴射真空泵。氣體分子擴(kuò)散到蒸汽射流中，被送到出口。在射流中氣體分子密度始終是很低的，這種泵適于在分子流狀態(tài)下工作。可分為：① 自凈化擴(kuò)散泵：泵液中易揮發(fā)的雜質(zhì)經(jīng)專門的機(jī)械輸送到出口而不回到鍋爐中的一種油擴(kuò)散泵② 分餾式擴(kuò)散泵：這種泵具有分餾裝置，使蒸汽壓強(qiáng)較低的工作液蒸汽進(jìn)入高真空工作的噴嘴，而蒸汽壓強(qiáng)較高的工作液蒸汽進(jìn)入低真空工作的噴嘴，它是一種多級(jí)油擴(kuò)散泵。隨著真空應(yīng)用的發(fā)展，真空泵的種類已發(fā)展了很多種，其抽速?gòu)拿棵肓泓c(diǎn)幾升到每秒幾十萬(wàn)、數(shù)百萬(wàn)升。

結(jié)構(gòu)緊湊、工作平衡可靠和流量均勻，所以化工生產(chǎn)中多用來(lái)輸送或抽吸易燃、易爆和有腐蝕性的氣體。水環(huán)式真空泵由于葉輪攪拌液體，損失能量大，故其效率很低。真空泵度不夠可能原因：電機(jī)供電不足導(dǎo)致轉(zhuǎn)速不夠；供水量不足；葉輪與分配板之間的間隙過(guò)大；機(jī)械密封破損導(dǎo)致漏水漏氣；葉輪磨損過(guò)多；循環(huán)水排不出。排除方法：檢查供電電壓是否在電機(jī)額定的電壓范圍內(nèi)；加大供水量（必須控制在正確的范圍內(nèi)，否則會(huì)導(dǎo)致電機(jī)超載發(fā)熱）；調(diào)小葉輪與分配板的間隙（一般在0.15—0.20mm）；更換機(jī)械密封；更換葉輪；檢查出水口的管路。真空泵的市場(chǎng)根據(jù)用戶的需要而發(fā)生動(dòng)態(tài)變化。合肥質(zhì)譜真空泵

臥式真空泵的進(jìn)氣口在上，排氣口在下。合肥質(zhì)譜真空泵

高真空系的滑閥式真空泵普遍應(yīng)用于真空拉晶、真空鍍膜、真空冶金、真空熱處理、真空浸漬、真空干燥、真空蒸餾、真空練泥、航空航天模擬試驗(yàn)等新材料、新技術(shù)、新工藝的生產(chǎn)與研制中?；y真空泵可單獨(dú)使用，也可作為羅茨真空泵、油增壓泵、油擴(kuò)散泵的前級(jí)泵的使用。當(dāng)抽吸對(duì)黑色金屬有腐蝕、對(duì)真空油起化學(xué)反應(yīng)、含大量蒸汽、大量粉塵的氣體時(shí)，需附加裝置。優(yōu)點(diǎn)：相比旋片式真空泵耐用性要高好幾倍且抽氣速率大，價(jià)格相對(duì)高一點(diǎn)。用來(lái)抽除密閉容器的氣體的基本設(shè)備之一。它可以單獨(dú)使用，也可作為增壓泵、擴(kuò)散泵、分子泵的前級(jí)泵使用。該型真空泵普遍應(yīng)用于冶金、機(jī)械、電子、化工、石油、醫(yī)藥等行業(yè)的真空冶煉、真空鍍膜、真空熱處理，真空干燥等工藝過(guò)程中。合肥質(zhì)譜真空泵