氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方法

?背壓法

全密封件進(jìn)行的氣密性檢測時采用背壓法。檢漏前用壓氦罐向被檢件壓入氦氣（由壓力和時間控制壓入的量），電廠氦質(zhì)譜檢漏儀哪家好，然后取出被檢件，吹去表面吸附氦氣；或者先在被檢件前道工藝中向產(chǎn)品內(nèi)部封入氦氣。被檢件放入檢漏罐中，再將檢漏罐連接到氦質(zhì)譜檢漏儀，對檢漏罐抽真空檢漏，被檢件有漏孔存在，正壓氦質(zhì)譜檢漏儀價格，通過漏孔壓入（或封入）被檢件的氦氣會泄漏出來進(jìn)入檢漏罐，被氦質(zhì)譜檢漏儀定量檢測到。用這種方法測得的漏率是總漏率。

氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方法

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?正壓法

又稱吸槍檢漏，將吸槍接在儀器檢漏口上，被檢件充入規(guī)定壓力的氦氣（純氦氣或一定比例氦氮混合氣）。檢漏時，吸槍沿可能泄漏處慢慢移動，被檢件有漏孔，氦氣自漏孔漏出，被吸槍吸入至儀器的質(zhì)譜系統(tǒng)而被檢測出。因為空氣中含有5ppm的氦氣，正壓法檢漏靈敏度相對負(fù)壓法要低。

氦質(zhì)譜檢漏儀的組成——真空系統(tǒng)

儀器的真空系統(tǒng)提供質(zhì)譜正常工作所需要的真空條件，不同型號的檢漏儀其真空系統(tǒng)有較大的差別。圖5為常見的普通型氦質(zhì)譜檢漏儀真空系統(tǒng)。

真空系統(tǒng)一般包括：

1）主泵。一般用擴散泵或渦輪分子泵。極限壓力小于5×10-1Pa，其抽速應(yīng)與氣載匹配。

2）前級真空泵。一般采用旋片式機械真空泵，正壓氦質(zhì)譜檢漏儀哪家好，在以分子示為主泵的系統(tǒng)中，也有采用薄膜泵或干泵的。極限壓力小于1×10-1Pa，抽速與主泵匹配。

3）預(yù)抽真空泵。一般與前級真空泵共同一個泵，也有預(yù)抽真空泵的。預(yù)抽真空泵一般采用旋片式機械真空泵，其抽速視被檢件大小而定，因此預(yù)抽真空泵大都由用戶自配。

4）冷阱。分子泵型真空系統(tǒng)一般不加冷阱。擴散泵型真空系統(tǒng)的冷阱加在質(zhì)譜室、檢漏口與擴散泵之間，使三者被冷阱隔離，氦質(zhì)譜檢漏儀，如圖5所示。冷阱加入液氮后便可阻止擴散泵的油蒸氣和被檢件來的水蒸氣進(jìn)入質(zhì)譜室，保持質(zhì)譜室的清潔，并幫助擴散泵迅速獲得較高真空。

5）檢漏閥。按在質(zhì)譜室和被檢件之間的管道上。有些儀器采用節(jié)流閥，控制流入質(zhì)譜室的氣體流量。

6）真空規(guī)。一般采用冷陰極磁控放電真室規(guī)來測量質(zhì)譜室中的壓力。也有用電阻規(guī)或熱偶規(guī)測量被檢件的預(yù)抽壓力和系統(tǒng)的前級壓力的。

7）標(biāo)準(zhǔn)漏孔。一般儀器內(nèi)都附有標(biāo)準(zhǔn)漏孔（大多為薄膜滲氦型），用它來校準(zhǔn)儀器的可檢漏率和對儀器輸出指示進(jìn)行定標(biāo)。

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