FFU具有的特點：

第yi，靈活性：因為FFU是自帶動力的，它不受區(qū)域的限制，在一個偌大的無塵廠房里可根據(jù)要求，分區(qū)控制，而且，隨著半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝的變化，廠房布局必然要作相應(yīng)的調(diào)整，F(xiàn)FU的靈活性使得這樣的調(diào)整變得輕松，而且不會帶來二次投資。

第二，可再利用性，從理論上講，一時不用的FFU設(shè)備，可以拆下來，密封好，妥善保管，留待下次使用。

第三，負(fù)壓通風(fēng)，這是FFU的特點，仙桃萬級凈化工程，由于它本身能夠提供靜壓，使得送風(fēng)靜壓箱相對于無塵廠房負(fù)壓，這樣，靜壓箱內(nèi)的顆粒就不會受到壓力的作用泄漏到潔凈區(qū)內(nèi)，使得密封變得很簡單而且安全。

第四，縮短建設(shè)周期，使用FFU省掉了風(fēng)箱的制作和安裝，模具萬級凈化工程，因為風(fēng)管在潔凈工程中，占掉很大的建設(shè)周期，任何一個投資者都希望投資能盡快帶來收益，選用FFU成為了一種可能。

第五，減少運(yùn)行成本，雖然在選用FFU時，初期投資要比使用風(fēng)管通風(fēng)高，但在它后期運(yùn)行中，突出的表現(xiàn)出節(jié)能，生物萬級凈化工程，免維護(hù)等特點，用大循環(huán)減少40%的運(yùn)行成本。

風(fēng)淋室的使用管理是什么

（1）進(jìn)入屏障環(huán)境的人員應(yīng)在外更衣室脫去外衣，除下手表、手機(jī)、飾品等物品。

（2）進(jìn)入內(nèi)更衣室，穿戴凈化衣、帽、口罩、手套。

（3）人員進(jìn)入后，立即關(guān)閉外門，風(fēng)淋自動啟動1分鐘（已設(shè)置）。

（4）風(fēng)淋結(jié)束，進(jìn)入屏障環(huán)境。

風(fēng)淋室的管理

（1）風(fēng)淋室由責(zé)任人管理，每季度定期更換初效濾材。

（2）每2年更換風(fēng)淋室的高1效濾材。

（3）應(yīng)輕開輕關(guān)風(fēng)淋室內(nèi)、外門。

（4）遇風(fēng)淋室發(fā)生故障時，應(yīng)及時報維修人員修理。一般情況下不準(zhǔn)啟動手動按鈕。

    對于大部分潔凈空間，為了防止外界污染侵入，需要保持內(nèi)部的壓力（靜壓）高于外部的壓力（靜壓）。壓力差的維持一般應(yīng)符合以下原則：

1．潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。

2.潔凈度級別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級別低的空間的壓力。

3.相通潔凈室之間的門要開向潔凈度級別高的房間。

壓力差的維持依靠新風(fēng)量，這個新風(fēng)量要能補(bǔ)償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。所以壓力差的物理意義就是漏泄（或滲透）風(fēng)量通過潔凈室的各種縫隙時的阻力。

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