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FFU具有的特點(diǎn):
第yi,靈活性:因?yàn)镕FU是自帶動(dòng)力的,它不受區(qū)域的限制,在一個(gè)偌大的無(wú)塵廠(chǎng)房里可根據(jù)要求,分區(qū)控制,而且,隨著半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝的變化,廠(chǎng)房布局必然要作相應(yīng)的調(diào)整,F(xiàn)FU的靈活性使得這樣的調(diào)整變得輕松,而且不會(huì)帶來(lái)二次投資。
第二,可再利用性,從理論上講,一時(shí)不用的FFU設(shè)備,可以拆下來(lái),密封好,妥善保管,留待下次使用。
第三,負(fù)壓通風(fēng),這是FFU的特點(diǎn),仙桃萬(wàn)級(jí)凈化工程,由于它本身能夠提供靜壓,使得送風(fēng)靜壓箱相對(duì)于無(wú)塵廠(chǎng)房負(fù)壓,這樣,靜壓箱內(nèi)的顆粒就不會(huì)受到壓力的作用泄漏到潔凈區(qū)內(nèi),使得密封變得很簡(jiǎn)單而且安全。
第四,縮短建設(shè)周期,使用FFU省掉了風(fēng)箱的制作和安裝,模具萬(wàn)級(jí)凈化工程,因?yàn)轱L(fēng)管在潔凈工程中,占掉很大的建設(shè)周期,任何一個(gè)投資者都希望投資能盡快帶來(lái)收益,選用FFU成為了一種可能。
第五,減少運(yùn)行成本,雖然在選用FFU時(shí),初期投資要比使用風(fēng)管通風(fēng)高,但在它后期運(yùn)行中,突出的表現(xiàn)出節(jié)能,生物萬(wàn)級(jí)凈化工程,免維護(hù)等特點(diǎn),用大循環(huán)減少40%的運(yùn)行成本。
(1)進(jìn)入屏障環(huán)境的人員應(yīng)在外更衣室脫去外衣,除下手表、手機(jī)、飾品等物品。
(2)進(jìn)入內(nèi)更衣室,穿戴凈化衣、帽、口罩、手套。
(3)人員進(jìn)入后,立即關(guān)閉外門(mén),風(fēng)淋自動(dòng)啟動(dòng)1分鐘(已設(shè)置)。
(4)風(fēng)淋結(jié)束,進(jìn)入屏障環(huán)境。
風(fēng)淋室的管理
(1)風(fēng)淋室由責(zé)任人管理,每季度定期更換初效濾材。
(2)每2年更換風(fēng)淋室的高1效濾材。
(3)應(yīng)輕開(kāi)輕關(guān)風(fēng)淋室內(nèi)、外門(mén)。
(4)遇風(fēng)淋室發(fā)生故障時(shí),應(yīng)及時(shí)報(bào)維修人員修理。一般情況下不準(zhǔn)啟動(dòng)手動(dòng)按鈕。
對(duì)于大部分潔凈空間,為了防止外界污染侵入,需要保持內(nèi)部的壓力(靜壓)高于外部的壓力(靜壓)。壓力差的維持一般應(yīng)符合以下原則:
1.潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。
2.潔凈度級(jí)別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級(jí)別低的空間的壓力。
3.相通潔凈室之間的門(mén)要開(kāi)向潔凈度級(jí)別高的房間。
壓力差的維持依靠新風(fēng)量,這個(gè)新風(fēng)量要能補(bǔ)償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。所以壓力差的物理意義就是漏泄(或滲透)風(fēng)量通過(guò)潔凈室的各種縫隙時(shí)的阻力。
企業(yè): 無(wú)錫谷能凈化科技有限公司
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