真空泵機(jī)組渦旋泵已被廣泛應(yīng)用于諸多領(lǐng)域:①半導(dǎo)體行業(yè):薄膜制造設(shè)備、半導(dǎo)體器件封裝設(shè)備;②科學(xué)儀器行業(yè):同步輻射光束線機(jī)、電子顯微鏡、真空泵機(jī)組極光試驗(yàn)設(shè)備、分析測(cè)試儀器;③機(jī)械設(shè)備行業(yè):材料制備設(shè)備、真空檢測(cè)設(shè)備、真空過(guò)濾設(shè)備、材料提純?cè)O(shè)備、超高真空排氣設(shè)備;④行業(yè):儀器、透析機(jī);生物制品行業(yè):材料提純與藥品制備;⑤包裝行業(yè):食品、藥品、生物制品等包裝設(shè)備;⑥真空冶金行業(yè):真空爐、納米材料制備設(shè)備、真空檢測(cè)設(shè)備等領(lǐng)域。渦旋泵作為分子泵和小型低溫泵的前級(jí)泵是獲得無(wú)油真空系統(tǒng)的佳配置。它的主要運(yùn)動(dòng)件只有一個(gè)動(dòng)渦旋盤，因而動(dòng)力傳遞簡(jiǎn)單，相同尺寸下運(yùn)動(dòng)半徑小、零部件少、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊、整機(jī)尺寸小，動(dòng)、靜渦旋盤之間、動(dòng)盤與泵腔之間間隙小，泵內(nèi)運(yùn)動(dòng)件與泵腔無(wú)摩擦，所以幾乎無(wú)磨損，運(yùn)行平穩(wěn)，消耗功率小，氣體流動(dòng)損失小，工作可靠性高、壽命長(zhǎng)，易于維修，維修費(fèi)用低，容積。采用空氣冷卻，無(wú)需水冷。

　    要確定電機(jī)故障，首先應(yīng)了解故障的發(fā)生，尤其是故障發(fā)生前后的變化。觀察電機(jī)的異常情況，如端蓋、風(fēng)扇、外殼是否松動(dòng)、、損壞，氣道是否堵塞，軸是否彎曲，是否有特殊現(xiàn)象氣味，絕緣被燒毀。氣味也是油脂或其他油脂熔化和蒸發(fā)的氣味。用手轉(zhuǎn)動(dòng)轉(zhuǎn)子，聽(tīng)聽(tīng)是否有異物摩擦或定子和轉(zhuǎn)子鐵芯摩擦。如果仍然可以啟動(dòng)電機(jī)，請(qǐng)注意啟動(dòng)和運(yùn)行期間聲音是否異常。并用手觸摸電機(jī)部件，檢查熱量程度以及是否存在局部過(guò)熱(如軸承室附近的熱量與其他部件相比)和振動(dòng)。

　　相位異步真空泵電動(dòng)機(jī)的繞組損壞，并且相量損失操作引起大量的繞組。所謂的缺相運(yùn)行意味著運(yùn)行中的電機(jī)突然斷電，電機(jī)仍在工作。由于電流太大，繞組必然會(huì)燒壞。當(dāng)發(fā)生缺相操作時(shí)，電機(jī)聲音極其異常。發(fā)現(xiàn)后應(yīng)立即切斷電源停止檢查。

       1、拉力機(jī)的力值傳感器。傳感器的好壞決定了試驗(yàn)機(jī)的測(cè)力穩(wěn)定性與精度，水環(huán)真空泵維修，現(xiàn)在市場(chǎng)上小力值的一般使用S型的傳感器，大力值的則使用輪輻式，其內(nèi)部一般是電阻應(yīng)變片式。要是應(yīng)變片的精度不高，或是固定應(yīng)變片的膠抗化能力不行，亦或是傳感器的材料不佳，都會(huì)對(duì)其精度和使用壽命造成影響。

      2、驅(qū)動(dòng)傳感器運(yùn)動(dòng)的部件滾珠絲桿。要是絲桿有間隙的話，測(cè)出來(lái)的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)會(huì)直接的影響到試驗(yàn)的大變形與斷后伸長(zhǎng)率。而T形普通絲桿，真空泵維修，一是間隙比較大，第二是摩擦力較大，導(dǎo)致使用壽命比較短。

      3、拉力機(jī)的傳動(dòng)系統(tǒng)。有的是采用減速機(jī)，有的是使用普通的皮帶，主要的弊端是前者要定期加潤(rùn)滑油，后者無(wú)法保證傳動(dòng)的同步性，真空泵維修價(jià)格，會(huì)對(duì)試驗(yàn)結(jié)果造成影響。

      4、拉力機(jī)的電機(jī)。普通三相電機(jī)或是變頻電機(jī)，控制反應(yīng)慢，定位不準(zhǔn)確，一般的調(diào)速范圍比較窄。而松下全數(shù)字交流伺服電機(jī)，調(diào)速范圍廣，控制定位準(zhǔn)確，反應(yīng)也比較快。

      5、拉力機(jī)的測(cè)控系統(tǒng)。一些測(cè)控系統(tǒng)使用的是8位的單片機(jī)，采樣的速率低，同時(shí)抗干擾能力差。AD轉(zhuǎn)換器，如果其尾數(shù)也是分辨率低的話，測(cè)量也會(huì)不準(zhǔn)確。

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