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在SrTi03中摻入一定量的BaTi03和MgCr204,通過燒結(jié)形成多孔結(jié)構(gòu)的SrTi03-BaTi03 -MgCr2O4陶瓷可制作溫度濕度變化的雙功能傳感器。鈦酸鍶( SrTiO3)晶體的結(jié)晶基元為Ti-O八面體,熔體中Ti-O八面體聯(lián)結(jié)架狀結(jié)構(gòu)和網(wǎng)狀結(jié)構(gòu),Sr 2位于基元中間,因此由Ti-O八面體組成的結(jié)晶基元在熔體中的擴(kuò)散速度在很大程度上決定了晶體的生長速率。在基底表面旋涂底電極溶液后退火,形成底電極;在所述底電極表面旋涂鈦酸鍶溶液后進(jìn)行烘烤,形成酸鍶薄膜。
將等物質(zhì)的量的碳酸鍶、二氧化鈦及其他添加劑進(jìn)行混合并研磨,擠壓成型,放入電爐中,于1100~1200℃煅燒2.5~3h,鈦酸鍶晶體廠家,將煅燒物粉碎,再研磨酸洗、過濾洗滌、干燥,即得鈦酸鍶。鈦酸鍶(SrTiO3)為立方晶體結(jié)構(gòu),晶格常數(shù)為a=b=c=3.905A,屬pm3m空間群。一個T原子和周圍六個0原子成規(guī)則八面體,T原位于八面體中心位置,Sr原子則位于立方體八個頂點(diǎn)位置。
鈦酸鍶(SrTiO3)晶體是一種鈣鈦礦型絕緣體。早期,對 SrTio3的硏究大量集中在通過摻雜Nd、Cr、La等金屬離子獲得的SrTiO3導(dǎo)電層上。在高溫時SrTiO3屬于立方晶系,然而隨著溫度的降低導(dǎo)致晶體由立方向變?yōu)閷ΨQ性較低的四方晶系,正交晶系,三方晶系。將鈦酸鍶薄膜進(jìn)行退火處理,形成非晶薄膜;在所述非晶薄膜表面進(jìn)行電子束蒸發(fā)濺射形成頂電極,得到非晶鈦酸鍶薄膜器件。
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