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廣州帕納光電科技有限公司----EDWARDS 愛德華磁懸浮渦輪維修中心;
1957年,法國PFEIFFER企業(yè)的W.Becker創(chuàng)造發(fā)明了一種新式的分子泵,取名為渦輪分子泵。其構(gòu)造為立式,泵腔內(nèi)配有動、靜葉列,汽體由坐落于泵中間的呼吸口進到,經(jīng)抽真空安全通道流至泵殼兩邊,被葉列縮小后由排氣管排出來。此渦輪分子泵轉(zhuǎn)子由19級葉列構(gòu)成,直徑170Mm,轉(zhuǎn)速比為16000r/min,抽速為140L/s。EDWARDS 愛德華磁懸浮渦輪維修中心
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當今,當代分子泵的基礎(chǔ)構(gòu)造基礎(chǔ)定形為立式和立柱式二種。立式分子泵具備抽真空時轉(zhuǎn)子承受力勻稱,滾動軸承定位承受力情況好,使用期長,滾動軸承拆換全過程中轉(zhuǎn)子部位沒動,檢修便捷等特性。立柱式分子泵的機械加工工藝要比立式分子泵簡易,因此 近幾年來立柱式分子泵的發(fā)展趨勢速率迅速。EDWARDS 愛德華磁懸浮渦輪維修中心
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分子泵使用中的有什么注意事項?
防止大氣沖擊(少用玻璃真空計);
防止粉塵及顆粒進入;
防止有大的震動及開機移動;
工作場應避免與高壓,高頻設(shè)備共用電源;
應遠離磁性緣,采取隔離磁措施;EDWARDS 愛德華磁懸浮渦輪維修中心
冷卻水應保持流量及溫度;
分子泵本身具有高頻振動,所以在安裝時應考慮到共振問題.同時,在應用于光學,電子,激光設(shè)備時,要注意振動的影響;
注意潤滑油的安裝及定時更換;
運輸中防止撞擊及倒置;
真空室內(nèi)少用放氣量大的材料;EDWARDS 愛德華磁懸浮渦輪維修中心
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離子泵的工作原理?
1.產(chǎn)生放電;電子碰撞氣體分子發(fā)生電離
2.離子注入進入鈦陰極
3.鈦陰極發(fā)生磁控濺射,EDWARDS 愛德華磁懸浮渦輪維修中心,在陽極上沉積鈦膜
4.氣體分子在鈦表面被吸附,然后被掩埋;EDWARDS 愛德華磁懸浮渦輪維修中心
離子泵和升華泵的優(yōu)點有哪些?
不需要前級泵、關(guān)閉電源后,仍有抽氣作用, 用于維持真空、耐用
離子泵和升華泵有哪些缺點?
飽和效應明顯,只能用于小負載、脫氣、對氣體有選擇性,鈦的吸附能力決定;EDWARDS 愛德華磁懸浮渦輪維修中心
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