超精密特種加工

要獲得超精密的加工精度，仍有賴于精密的加工設(shè)備控制系統(tǒng)，并采用超精密掩膜作中介物。例如超大規(guī)模集成電路的制版就是采用電子束對(duì)掩膜上的光致抗蝕劑（見光刻）進(jìn)行曝射，使光致抗蝕劑的原子在電子撞擊下直接聚合(或分解)，再用顯影劑把聚合過的或未聚合過的部分溶解掉，制成掩膜。電子束曝射制版需要采用工作臺(tái)定位精度高達(dá)±0.01微米的超精密加工設(shè)備。

內(nèi)外圓磨精密加工告訴您外圓磨跟內(nèi)圓磨有什么不一樣？

外圓磨是用來磨削外圓類工件的磨床，一般用三爪直接裝夾工件，或裝夾工件，與頭架連接處使用雞心夾頭驅(qū)動(dòng)工件旋轉(zhuǎn)，砂輪架安裝旋轉(zhuǎn)的砂輪，進(jìn)給與工件接觸進(jìn)行磨削，砂輪直徑較大。

內(nèi)圓磨是用來磨削內(nèi)圓（孔）類工件的磨床，一般用三爪直接裝夾工件，內(nèi)圓磨具安裝旋轉(zhuǎn)的砂輪，精密加工哪家好，進(jìn)給與工件接觸進(jìn)行磨削，砂輪直徑較小，轉(zhuǎn)速較高。

日本超精密加工初從鋁、銅輪轂的金剛石切削開始，而后集中于計(jì)算機(jī)硬盤磁片的大批量生產(chǎn)，隨后是用于激光打印機(jī)等設(shè)備的多面鏡的快速金剛石切削，之后是非球面透鏡等光學(xué)元件的超精密切削。l982年上市的EastnlanKodak數(shù)碼相機(jī)使用的一枚非球面透鏡引起了日本產(chǎn)業(yè)界的廣泛關(guān)注，因?yàn)?枚非球面透鏡至少可替代3枚球面透鏡，光學(xué)成像系統(tǒng)因而小型化、輕質(zhì)化，可廣泛應(yīng)用于照相機(jī)、錄像機(jī)、工業(yè)電視、機(jī)器人視覺、CD、VCD、DvD、投影儀等光電產(chǎn)品。因而，非球面透鏡的精密成形加工成為日本光學(xué)產(chǎn)業(yè)界的研究熱點(diǎn)。

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