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無(wú)塵車間技術(shù)夾層的墻面、頂棚宜抹灰。
如需在技術(shù)夾層內(nèi) 更換空氣過(guò)濾器時(shí),食品無(wú)塵車間,宜增刷涂料飾面。地面、回風(fēng)地溝和位于地下的技術(shù)夾層,應(yīng)采用防水或防潮、防霉措施。 建筑風(fēng)道和回風(fēng)地溝的內(nèi)表面裝修標(biāo)準(zhǔn),應(yīng)與整個(gè)送、回風(fēng)系統(tǒng)相適應(yīng),并 應(yīng)易于除塵。潔凈廠房和人員凈化用室設(shè)置的外窗,應(yīng)采用雙層玻璃金屬窗,并應(yīng)有良好的氣密性。
無(wú)塵車間的原則:
無(wú)塵車間里存在大量可以節(jié)約能源的地方,例如暖氣、通風(fēng)和空調(diào)(HVAC)、工藝?yán)鋮s、壓縮空氣以及一些其他的設(shè)施。 HVAC系統(tǒng)消耗的電力超過(guò)了整座晶片制造廠用電量的一半。之所以造成大量浪費(fèi)電力及HVAC的容量過(guò)剩,很大程度上是因?yàn)樵谠O(shè)計(jì)和建造工廠時(shí)走捷徑,無(wú)塵車間裝修,盡可能地壓縮前期投入,池州無(wú)塵車間,而不顧后期運(yùn)行費(fèi)用。高1效率的設(shè)計(jì)和高1效率設(shè)備需要很大的前期投入。
無(wú)塵車間內(nèi)的噪聲等級(jí)應(yīng)符合下列要求:
一、動(dòng)態(tài)測(cè)試時(shí),無(wú)塵車間施工,潔凈廠房?jī)?nèi)的噪聲級(jí)不應(yīng)超過(guò)65分貝A。
二、空態(tài)測(cè)試時(shí),亂流潔凈廠房的噪聲等級(jí)不宜大于58分貝A,層流潔凈廠房的噪聲級(jí)不應(yīng)大于60分貝A。
三、無(wú)塵車間的平、剖面布置,應(yīng)考慮噪聲控制的要求,其圍護(hù)結(jié)構(gòu)應(yīng)有良好的隔聲性能,并宜使各部分隔聲量相接近。
四、無(wú)塵車間內(nèi)的各種設(shè)備均應(yīng)選用低噪聲產(chǎn)品。對(duì)于輻射噪聲超過(guò)潔凈廠房允許值的設(shè)備,應(yīng)設(shè)置隔聲設(shè)施(如隔聲間、隔聲罩等)。
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