超特種加工

加工精度以納米，甚至終以原子單位(原子晶格距離為0.1～0.2納米)為目標時，切削加工方法已不能適應(yīng)，超加工哪家好，需要借助特種加工的方法，即應(yīng)用化學(xué)能、電化學(xué)能、熱能或電能等，使這些能量超越原子間的結(jié)合能，從而去除工件表面的部分原子間的附著、結(jié)合或晶格變形，以達到超加工的目的。屬于這類加工的有機械化學(xué)拋光、離子濺射和離子注入、電子束曝射、激光束加工、金屬蒸鍍和分子束外延等。這些方法的特點是對表面層物質(zhì)去除或添加的量可以作極細微的控制。

傳統(tǒng)的機械加工方法(普通加工)與和超加工方法一樣。隨著新技術(shù)、新工藝、新設(shè)備以及新的測試技術(shù)和儀器的采用，其加工精度都在不斷地提高。加工精度的不斷提高，反映了加工工件時材料的分割水平不斷由宏觀進入微觀世界的發(fā)展趨勢。隨著時間的進展，原來認為是難以達到的加工精度會變得相對容易。因此，普通加工、加工和超加工只是一個相對概念?其間的界限隨著時間的推移不斷變化。切削與超加工的典型代表是金剛石切削。

20世紀60年代為了適應(yīng)核能、大規(guī)模集成電路、激光和航天等技術(shù)的需要而發(fā)展起來的精度極高的一種加工技術(shù)。到80年代初，其加工尺寸精度已可達10納米（1納米=0.001微米）級，表面粗糙度達1納米，加工的尺寸達 1微米，正在向納米級加工尺寸精度的目標前進。納米級的超加工也稱為納米工藝(nano-technology) 。超加工是處于發(fā)展中的跨學(xué)科綜合技術(shù)。

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