里其樂真空泵濾芯系列：731400，731401，731399，730936730937，730516-0000，730514，731142，515310，里其樂真空泵VC50，730506，513457，里其樂真空泵VCA25，730507，317957，730504，731148，731143，730513，730533-0000，里其樂真空泵，730516730507-0000，909503，730542，730517，730080，730502，515310，730506，730508，513457，730519，317895，317957，731468-r

進口真空泵不應用來抽除氧氣含量過高、有性及其對金屬資料有浸蝕的氣體。另一個，也不合適吸入能與泵油起化學反響的氣體和帶有大批量水蒸汽的氣體等

泵可在通大氣環(huán)境或其他真空度下一次啟動，泵口如裝接電磁閥，應與泵一同操作。

里其樂干式真空泵常見的應用領域如下：

1)低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中。

2)半導體刻蝕工藝。半導體蝕刻生產(chǎn)工藝中往往要用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒。

3)除半導體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝，不希望微粒混入泵油中，里其樂真空泵VC400，而是需要微粒排出泵外，則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求。

4)在化學工業(yè)、工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，需要防止造成污染，適合用干式真空泵。

5)用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級泵，以防止油污染。

里其樂干式真空泵、爪式真空泵、無油渦旋真空泵極限真空度都很高，限真空均可達到1-2Pa；無油往復真空泵為粗真空設備，極限真空度低，需要搭配羅茨真空泵提限真空。

抽氣量：無油渦旋真空泵由于內(nèi)部結構問題，抽氣量較小，只適用于小抽氣量的工藝中；干式螺桿真空泵型號齊全，可適用大抽氣量工藝中，配合羅茨真空泵可以滿足不同客戶的需求。

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