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要用于以下兩方面。
?、俚入x子體表面處理:為了提高刀具、模具等的性能,可以用等離子體對金屬表面進行氮、碳、硼或碳氮的滲透。這種方法的特點是,不是在表面加一覆蓋層,而是改變基體表面的材料結(jié)構(gòu)及其性能。等離子處理機過程中,工件溫度比較低,不使工件變形,這對精密的部件很重要。這一方法可以應(yīng)用于各種金屬基體,主要有輝光放電滲氮,氮碳共滲,滲硼。
?、诘入x子體在電子工業(yè)中的應(yīng)用:大規(guī)模集成電路片心的生產(chǎn)工藝,過去采用化學方式,采用等離子體方法代替之后,不僅降低了工藝過程中的溫度,碎玻璃清洗機用途,還因?qū)⑼磕z、顯影、刻蝕、除膠等化學濕法改為等離子體干法,使工藝更簡單,便于實現(xiàn)自動化,提高成品率。等離子體方法加工的片心分辨率及保真度都高,對提高集成度及可靠性均有利。
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