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分子動力學(xué)模擬氫微納米氣泡生產(chǎn)廠家壓壞時產(chǎn)生的射流對半導(dǎo)體襯底研磨的影響
隨著功率半導(dǎo)體器件的需求增加,要求CMP提高SiC、GaN等高硬度半導(dǎo)體基板的研磨速度。我們考慮了氫微納米氣泡生產(chǎn)廠家壓壞時產(chǎn)生的射流的利用。由于射流具有比沖擊波更強(qiáng)的沖擊力,因此通過使噴氣式流與基板碰撞,可以期待研磨速度的提高。因此,在本演講中,小型氫微納米氣泡生產(chǎn)廠家,我們報告了利用分子動力學(xué)計算分析了氫微納米氣泡生產(chǎn)廠家射流對SiC半導(dǎo)體襯底的影響的結(jié)果。
什么是微納米氣泡
沒有嚴(yán)格的規(guī)定,嘉峪關(guān)氫微納米氣泡生產(chǎn)廠家,但是如果氣泡直徑為50 mm以下,它通常被稱為微納米氣泡。與普通氣泡(微小氣泡,大型氫微納米氣泡生產(chǎn)廠家,中間氣泡)相比它的上升速度慢且比表面積大,因此它迅速溶解并到達(dá)水面。它可能在之前完全溶解
什么是納米氣泡
直徑小于或等于1 um的氣泡稱為納米氣泡或超細(xì)氣泡。它在光學(xué)顯微鏡下不可見,因?yàn)樗^了可見光的衍射極限。 主要是一種使用激光或布朗運(yùn)動跟蹤方法進(jìn)行動態(tài)光散射的儀表。通常使用測量設(shè)備進(jìn)行測量,但也包括使用其他測量方法的設(shè)備。
當(dāng)前沒有能夠準(zhǔn)確測量氣泡直徑和數(shù)量的設(shè)備。
關(guān)于納米氣泡的性質(zhì),有各種各樣的理論,但是科學(xué)證明太先進(jìn)了。
氫微納米氣泡生產(chǎn)廠家是一項對冷卻劑具有革命性影響的新技術(shù)。
氫微納米氣泡生產(chǎn)廠家發(fā)生器“是一種應(yīng)用的設(shè)備,只需要將氫微納米氣泡生產(chǎn)廠家發(fā)生器設(shè)備扔到研磨機(jī)的現(xiàn)有冷卻液箱中即可。減少處理時間、增加切削深度、延具/磨削刀具的壽命和加工精度這是革命性的冷卻液(切削/研磨)液。
氫微納米氣泡生產(chǎn)廠家的一大特點(diǎn)是,它們帶電并保持球形氣泡長時間不粘結(jié)。該氫微納米氣泡生產(chǎn)廠家的特性與冷卻液的特性相匹配。小的微納米氣泡和納米氣泡(超細(xì)氣泡)在微世界中表現(xiàn)出與微珠和軸承相同的效果,降低了冷卻液(研磨/切削)流體的阻力,并改善了滲透性和清潔性能,從而改善了研磨性能。
氫微納米氣泡生產(chǎn)廠家還減少了冷卻液的氣味(研磨/切割)并延長了使用壽命。由于它是氫微納米氣泡生產(chǎn)廠家發(fā)生器,因此不會因冷卻液(研磨/切割)流體或異物而堵塞,幾乎不需要維護(hù)。
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