高純六氟化硫的應(yīng)用

 六氟化硫的使用可以增加設(shè)備運(yùn)行的安全性、縮小設(shè)備體積、延長設(shè)備壽命。近幾年，國家大力發(fā)展基礎(chǔ)電力行業(yè)，朔州六氟化硫，給六氟化硫廠家?guī)砹撕艽蟮氖袌鰴C(jī)遇。

高純六氟化硫(純度在99.99%以上)，國內(nèi)需求非常旺盛，而且附加值較高。

 高純六氟化硫主要用于半導(dǎo)體工業(yè)中作清洗氣體。

 六氟化硫的成本只有NF3的幾分之一，近年來，各公司以廉價的SF6取代以往CVD工藝中作為清洗氣體的NF3的新技術(shù)正被廣泛研究。

 該技術(shù)在大幅降低液晶產(chǎn)品加工中占相當(dāng)比例的CVD氣體成本的同時，還顯示出了極i佳的環(huán)保前景，近年來用量有明顯的提高。

 據(jù)權(quán)i威機(jī)構(gòu)預(yù)測，2010年我國將成為僅次于美國的大集成電路市場，總需求量約為500億美元。目前國內(nèi)使用高純六氟化硫作為蝕刻氣的生產(chǎn)線約有50條左右預(yù)計。2016年將達(dá)到700噸左右，

 國內(nèi)使用六氟化硫作為蝕刻氣的生產(chǎn)線有近50條，在未來的五年預(yù)計將有20條至30條新線建成。每年約消耗高純六氟化硫為600噸左右。而國內(nèi)高純六氟化硫產(chǎn)品遠(yuǎn)遠(yuǎn)不能滿足市場需求，六氟化硫公司，半導(dǎo)體廠家所用高純產(chǎn)品大部分依賴進(jìn)口，這給高純六氟化企業(yè)提供更多的發(fā)展機(jī)遇。

為什么六氟化硫氣體純度不純了？

（1）電器設(shè)備內(nèi)的SF6氣體在高溫電弧發(fā)生作用時而產(chǎn)生的某些有毒產(chǎn)物。

 例如：SF6氣體在電弧中的分解和與氧的反應(yīng)：會生成氟化亞硫酰、四i氟化硫i酰 、氟化硫i酰等有毒物質(zhì)。

 （2）電器設(shè)備內(nèi)的六氟化硫氣體分解物與其內(nèi)的水分發(fā)生化學(xué)反應(yīng)而生成某些有毒產(chǎn)物。 例如：SF6氣體分解物與水的繼發(fā)性反應(yīng)生成氫i氟酸、二氧化硫、硫酸等

 （3）電器設(shè)備內(nèi)的 SF6氣體及分解物與電極（Cu－W 合金）及金屬材料（AL、Cu）反應(yīng)而生成某些有毒產(chǎn)物。 例如：SF6氣體及分解物與電極或其它材料反應(yīng)： ALF3（固態(tài)粉末）ALF3（固態(tài)粉末）CuF2(固態(tài)粉末) 等固態(tài)粉末

 （4）電器設(shè)備內(nèi)的SF6氣體及分解物與絕緣材料反應(yīng)而生成某些有毒產(chǎn)物。如與含有硅成分的環(huán)氧酚醛玻璃絲布板（棒、管）等絕緣件；或以石英砂、玻璃作填料的環(huán)氧樹脂澆注件、模壓件以及瓷瓶、硅橡膠、硅脂等起化學(xué)作用，生成SiF4、Si（CH3）2F2等產(chǎn)物。

 以上這些六氟化硫氣體高溫分解的產(chǎn)物都會導(dǎo)致六氟化硫氣體純度不純的問題。我們在選購的時候首先要避免，六氟化硫哪家好，找正規(guī)廠家購買，六氟化硫制備，并附帶產(chǎn)品檢測報告。

     如果六氟化硫氣體中含有超過規(guī)定的水分，當(dāng)其濕度發(fā)生變化時，就可能凝結(jié)在固體絕緣表面使該面變潮，這時設(shè)備的沿面放電電壓將顯著下降。六氟化硫氣體在電弧和電暈作用下分解生成的低氟化合物氣體，假如沒有水分子這個外部條件是不會生成SO2、HF及其它有害物質(zhì)的，從而也就可以避免由它們產(chǎn)生的設(shè)備腐蝕。所以，設(shè)備充裝六氟化硫氣體必須嚴(yán)密措施防止水分進(jìn)入。

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