半導體、集成電路生產的無塵車間要求

半導體材料提純作為發(fā)展半導體器件的重要基礎。由于大規(guī)模和超大規(guī)模集成電路的工藝要求，為得到高純度的硅材料，原料和中間媒介的高純度和生產環(huán)境的潔凈度成為影響產品質量的一個突出問題。集成電路芯片的成品率與芯片的缺陷密度有關，無塵室車間，而芯片的缺陷密度與空氣中粒子個數(shù)有關。因此，集成電路的高速發(fā)展，不僅對空氣中控制粒子的尺寸有極高的要求，合肥無塵室，而且也需進一步控制粒子數(shù)；同時，對于超大規(guī)模集成電路生產環(huán)境的化學污染控制也有相關的要求。

無塵車間的風淋室有哪些功能

   1、風淋室箱體主材料有201、304不銹鋼。

   2、風淋室具有單片機微處理PLC智能化的控制及智能語音提示系統(tǒng)，經迅速塵埃粒子。

   3、人性化語音提示給人一種親切感覺，LED顯示屏可清晰明了的顯示吹淋時間和風淋室所處狀態(tài)，吹淋時間表可調。

   4、人在吹淋時由風淋室控制系統(tǒng)自動發(fā)出語音提示讓人有次序的完成整個吹淋除塵過程，防止人員違規(guī)操作。

   5、有紅線光電自動感應開關控制吹淋，風淋室無人空吹。

   6、風淋室采用軟鍵輕觸式調節(jié)開關，有外形美觀，壽命長，易清潔的優(yōu)點。

凈化車間噪音控制

FFU的風機一般為幾臺甚至幾十臺并聯(lián)使用，無塵室凈化車間，當設計時要考慮FFU噪音的疊加，保證《潔凈室廠房設計規(guī)范GB0073-2001》中明確規(guī)定“潔凈室內的噪音級(空態(tài))，非單向流潔凈室不應大于60dB，單向流、混合流潔凈室不應大于65dB”的要求。因此在選擇風機時zui好選擇、壓出式、直驅后徑向葉片風機，這樣可以降低整體噪音。

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