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公司產品包括石英掩膜版,蘇打掩膜版,以及菲林版。蘇州制版根據(jù)客戶的構想、草圖,定制版圖,蘇州制版提供高質量掩膜版以及后期的代加工服務!
其中掩膜版圖形數(shù)據(jù)由用戶自行設計并提交,后續(xù)加工工藝由工程師完成。由于圖形數(shù)據(jù)準備是掩膜版加工中的關鍵步驟,要求用戶對所提交的版圖文件仔細核對,確保圖形正確性。以下將對用戶較為關心的版圖繪制問題作出具體說明 。
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蝕刻工藝通常稱為版
刻蝕(Etch)是按照掩模圖形或設計要求對半導體襯底表面或表面覆蓋薄膜進行選擇性刻蝕的技術,它是半導體制造工藝,微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中的一種相當重要的步驟。是與光刻相聯(lián)系的圖形化(pattern)處理的一種主要工藝??涛g分為干法刻蝕和濕法腐蝕。原位芯片目前掌握多種刻蝕工藝,并會根據(jù)客戶的需求,設計刻蝕效果好且的刻蝕解決方案。
公司產品包括石英掩膜版,蘇打掩膜版,以及菲林版。蘇州制版根據(jù)客戶的構想、草圖,光刻板,定制版圖,蘇州制版提供高質量掩膜版以及后期的代加工服務!
掩模板是根據(jù)放大了的原圖制備的帶有透明窗口的模板。例如,可以用平整的玻璃板,涂覆上金屬鉻薄膜,通過類似照相制版的方法制備而成。具有微納圖形結構的掩模板通常使用電子束光刻機直接制備,其制作過程就是典型的光刻工藝過程,包括金屬各層沉積、涂膠、電子束光刻、顯影、鉻層腐蝕及去膠等過程。
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