應(yīng)變梁式壓力傳感器測量較小壓力時(shí)，可采取固定梁或等強(qiáng)度梁的構(gòu)造，一種方式是用膜片把壓力轉(zhuǎn)換為力再通過傳力桿傳遞給應(yīng)變梁，兩端固定梁的至大應(yīng)變處在梁的兩端和中點(diǎn)，應(yīng)變片就貼在這些中央。

應(yīng)變管式壓力傳感器彈性的敏感元件為一端關(guān)閉的薄壁圓筒，其另一端帶有法蘭與被測體系銜接，在筒壁上貼有2片或4片應(yīng)變片，其中一半貼在實(shí)心局部作為溫度彌補(bǔ)片，另一半作為測量應(yīng)變片，當(dāng)沒有壓力時(shí)4片應(yīng)變片組成均衡的全橋式電路，當(dāng)壓力作用于內(nèi)腔時(shí)，圓筒變造成“腰鼓形”，使電橋失去均衡，輸入與壓力成肯定關(guān)系的電壓。

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SOI高溫壓力傳感器的發(fā)展首要依托SOI資料的興起，SOI即絕緣體上硅，首要指以SiO2為絕緣層預(yù)埋在Si襯底層和Si頂層器材層中心形成的半導(dǎo)體資料，SOI的特別結(jié)構(gòu)使得器材層與襯底層之間實(shí)現(xiàn)了絕緣，消除了體硅中常見的門閂效應(yīng)，提高了器材的可靠性，另外因?yàn)镾OI器材層的高溫特性使得其成為制備高溫壓力傳感器的抱負(fù)資料。

從原理上講，壓力傳感器定做，SOI高溫壓力傳感器首要使用的是單晶硅的壓阻效應(yīng)，當(dāng)力作用于硅晶體上，晶體的晶格發(fā)生形變，從而導(dǎo)致載流子的遷移率發(fā)生變化，壓力傳感器公司批發(fā)，使得硅晶體的電阻率發(fā)生變化，通過在SOI頂層器材層的特定方向刻蝕出4個(gè)壓敏電阻，構(gòu)成惠斯通電橋，在SOI的襯底層刻蝕出壓力背腔，從而形成壓力敏感結(jié)構(gòu)。

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在各類傳感器中，壓力傳感器具有體積小、重量輕、靈敏度高、穩(wěn)定可靠、成本低、便于集成化的優(yōu)點(diǎn)，可廣泛用于壓力、高度、加速度、液體的流量、流速、液位、壓強(qiáng)的測量與控制，下面東莞市卓揚(yáng)測控技術(shù)有限公司來給大家說說壓力傳感器的未來發(fā)展趨勢。

1、小型化：目前市場對(duì)小型壓力傳感器的需求越來越大，可以工作在極端惡劣的環(huán)境下，并且只需要很少的保養(yǎng)和維護(hù)，對(duì)周圍的環(huán)境影響也很??；

2、集成化：集成化壓力傳感器已經(jīng)越來越多的與其它測量用傳感器集成以形成測量和控制系統(tǒng)，集成系統(tǒng)在過程控制和工廠自動(dòng)化中可提高操作速度和效率；

3、智能化：由于集成化的出現(xiàn)，在集成電路中可添加一些微處理器，使得傳感器具有自動(dòng)補(bǔ)償、通訊、自診斷、邏輯判斷等功能。

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