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氣體傳輸泵氣體傳輸泵是一種能使氣體不斷的吸入和排出,借以達到抽氣目的的真空泵,這種泵基本上有兩種類型:變?nèi)菡婵毡美帽们蝗莘e的周期性變化來完成吸氣和排氣過程的一種真空泵,氣體在排出前被壓縮。這種泵分為往復式及旋片式兩種:(1) 往復式真空泵:是利用泵腔內(nèi)活塞做往復式運動,將氣體吸入、壓縮并排出。因此,又稱為活塞式真空泵。(2) 旋片式真空泵:是利用泵腔內(nèi)活塞做旋轉(zhuǎn)運動,將氣體吸入、壓縮并排出。
正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣,因而,有時選用一種泵不能滿足抽氣要求,需要幾種泵組合起來,互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速,但不能抽氦,而三極型濺射離子泵,(或二極型非對稱陰極濺射離子泵)對亞有一定的抽速,兩者組合起來,便會使真空裝置得到較好的真空度。另外,有的真空泵不能在大氣壓下工作,需要預(yù)真空;有的真空泵出口壓強低于大氣壓,需要前級泵,故都需要把泵組合起來使用。
羅茨泵的工作原理及其結(jié)構(gòu)特點
羅茨泵是一種雙轉(zhuǎn)子的容積式真空泵。在泵腔內(nèi)有兩個形狀對稱的轉(zhuǎn)子,轉(zhuǎn)子形狀有兩葉、三葉和四葉的。兩個轉(zhuǎn)子彼此朝相反方向旋轉(zhuǎn),由軸端齒輪驅(qū)動同步轉(zhuǎn)動。轉(zhuǎn)子彼此無接觸,轉(zhuǎn)子與泵腔壁也無接觸,愛發(fā)科VDN401真空泵銷售,其間通常有0.15~1.0mm的間隙,泵腔靠間隙來密封。
由于羅茨泵泵腔內(nèi)無摩擦,轉(zhuǎn)子可高速運轉(zhuǎn),一般為1500~3000r/min,而且不必用潤滑油,可實現(xiàn)無油清潔的抽氣過程。泵的潤滑部位僅l限于軸承和齒輪,以及動密封處。泵沒有往復運動部件,故可實現(xiàn)良好的動平衡。因而,羅茨泵運轉(zhuǎn)平穩(wěn),轉(zhuǎn)速高,尺寸小可獲得大的抽速。
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