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公司產(chǎn)品包括石英掩膜版,蘇打掩膜版,以及菲林版。蘇州制版根據(jù)客戶的構(gòu)想、草圖,定制版圖,蘇州制版提供高質(zhì)量掩膜版以及后期的代加工服務(wù)!
光掩膜除了應(yīng)用于芯片制造外,還廣泛的應(yīng)用與像LCD,PCB等方面。常見的光掩膜的種類有四種,鉻版(chrome)、干版,凸版、液體凸版。主要分兩個(gè)組成部分,基板和不透光材料?;逋ǔJ歉呒兌?,低反射率,低熱膨脹系數(shù)的石英玻璃。鉻版的不透光層是通過濺射的方法鍍?cè)诓A路胶窦s0.1um的鉻層。鉻的硬度比玻璃略小,雖不易受損但有可能被玻璃所傷害。
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業(yè)內(nèi)又稱光掩模版、掩膜版,英文名稱 MASK 或 PHOTOMASK),材質(zhì):石英玻璃、金屬鉻和感光膠,該產(chǎn)品是由石英玻璃作為襯底,在其上面鍍上一層金屬鉻和感光膠,成為一種感光材料,把已設(shè)計(jì)好的電路圖形通過電子激光設(shè)備曝光在感光膠上,被曝光的區(qū)域會(huì)被顯影出來,在金屬鉻上形成電路圖形,成為類似曝光后的底片的光掩模版,然后應(yīng)用于對(duì)集成電路進(jìn)行投影定位,通過集成電路光刻機(jī)對(duì)所投影的電路進(jìn)行光蝕刻,其生產(chǎn)加工工序?yàn)椋浩毓?,顯影,去感光膠,后應(yīng)用于光蝕刻。
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掩膜版:通俗點(diǎn)理解,相當(dāng)于過去用膠片沖洗照片時(shí)的底片。底片如果精度不夠,是洗不出來照片的。光刻機(jī)施工前,要根據(jù)設(shè)計(jì)好的芯片電路圖制作掩膜板。掩膜板材質(zhì)是石英玻璃,玻璃上有金屬鉻和感光膠。通過激光在金屬鉻上繪制電路圖。精度要求非常高。
透鏡:用透鏡的光學(xué)原理,將掩膜版上的電路圖按比例縮小,再用光源映射的硅片上。光在多次投射中會(huì)產(chǎn)生光學(xué)誤差。要控制這個(gè)誤差。精度要求很高。
就是測(cè)量臺(tái)移動(dòng)的控制器,也是納米級(jí)精度,要求超高。
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