10萬級無塵車間的潔凈標(biāo)準(zhǔn)1、塵粒很大允許數(shù)(每立方米)。

2、大或等于0.5微米的粒子數(shù)不得超過3500000個，大或等于5微米的粒子數(shù)不得超過20000個。

3、微生物很大允許數(shù)。

4、浮游菌數(shù)不得超過500個每立方米。

5、沉隆菌數(shù)不得超過10個每培養(yǎng)皿。

6、壓差：相同潔凈度等級的潔凈室壓差保持一致，對于不同潔凈等級的相鄰潔凈室之間壓差要≥5Pa，潔凈室與非潔凈室之間要≥10Pa。

高水平的安徽潔凈車間凈化生產(chǎn)工藝對潔凈室的生產(chǎn)環(huán)境要求非常嚴(yán)格。電子廠特別是微電子和光電行業(yè)的電子廠，對大面積云南潔凈車間凈化的生產(chǎn)環(huán)境要求不僅是:建筑圍護(hù)結(jié)構(gòu)、結(jié)構(gòu)、空氣、水、氣、溶劑等原料，玻璃潔凈車間公司，而且還要有聲、光、電、磁、振等環(huán)境。如:建筑形式、承重高度、圍護(hù)結(jié)構(gòu)等裝飾材料;空氣清潔度、溫濕度、靜壓;水、氣的純度和重金屬含量以及噪聲、光照、靜電、電磁波、微振動等。

種形式在小規(guī)模低等級要求的潔凈室車間設(shè)計中被廣泛應(yīng)用，對于大面積高等級的潔凈車間則存在運(yùn)行成本過高、占用空間過大等缺點(diǎn)。

第二種形式的設(shè)計可以滿足集成電路制造無塵車間大面積高等級的要求，但運(yùn)行成本較高，并且潔凈室風(fēng)速、風(fēng)量調(diào)節(jié)困難，玻璃潔凈車間工程電話，系統(tǒng)升級改造困難，玻璃潔凈車間，因此操作靈活性很低。

第三種的FFU循環(huán)系統(tǒng)不僅節(jié)省運(yùn)行空間、潔凈度安全性高、運(yùn)行成本低，而且操作靈活性很高，可以在不影響生產(chǎn)的情況下隨時進(jìn)行系統(tǒng)升級和調(diào)整，這些都能很好地滿足半導(dǎo)體制造的需求，因此在半導(dǎo)體制造業(yè)FFU循環(huán)系統(tǒng)逐漸成為很主要的凈化設(shè)計方案。

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