高純六氟化硫的應用

 六氟化硫的使用可以增加設備運行的安全性、縮小設備體積、延長設備壽命。近幾年，國家大力發(fā)展基礎電力行業(yè)，給六氟化硫廠家?guī)砹撕艽蟮氖袌鰴C遇。

高純六氟化硫(純度在99.99%以上)，六氟化硫制備，國內需求非常旺盛，而且附加值較高。

 高純六氟化硫主要用于半導體工業(yè)中作清洗氣體。

 六氟化硫的成本只有NF3的幾分之一，近年來，南陽六氟化硫，各公司以廉價的SF6取代以往CVD工藝中作為清洗氣體的NF3的新技術正被廣泛研究。

 該技術在大幅降低液晶產品加工中占相當比例的CVD氣體成本的同時，還顯示出了極i佳的環(huán)保前景，近年來用量有明顯的提高。

 據權i威機構預測，2010年我國將成為僅次于美國的大集成電路市場，總需求量約為500億美元。目前國內使用高純六氟化硫作為蝕刻氣的生產線約有50條左右預計。2016年將達到700噸左右，

 國內使用六氟化硫作為蝕刻氣的生產線有近50條，在未來的五年預計將有20條至30條新線建成。每年約消耗高純六氟化硫為600噸左右。而國內高純六氟化硫產品遠遠不能滿足市場需求，半導體廠家所用高純產品大部分依賴進口，六氟化硫哪家好，這給高純六氟化企業(yè)提供更多的發(fā)展機遇。

物性數據

             1、性狀：無色無味氣體。                                              2、熔點（℃）：-51     

             3、沸點（℃）：-64（升華）                                         4、相對密度（水=1）：1.67（-100℃）

             5、相對蒸氣密度（空氣=1）：6.602                               6、飽和蒸氣壓（kPa）：2450（25℃）       

             7、臨界溫度（℃）：45.6                                             8、臨界壓力（MPa）：3.76

             9、辛醇/水分配系數：1.68                                            10、溶解性：微溶于水，溶于乙醇、yi 醚

            11、汽化熱（Kg/mol）：23.59（升華熱）                         12、熔化熱（Kg/mol）：5.82

            13、黏度（mPa·s，氣體）：0.01576                                 14、黏度（mPa·s，液體）：0.277

             15、折射率（氣體）：1.000783

    SF6氣體的分子具有很好的電負性，能夠捕i捉自由電子形成負離子，因此SF6氣體的滅弧性能是空氣的100倍，大型電力設備中大多使用SF6斷路器而不是空氣開關。純品的六氟化硫氣體滅弧后能夠迅速恢復還原，所以可以在設備中反復使用，六氟化硫公司，非常適合需要頻繁操作的場所。但是如果SF6氣體質量不合格，雜質尤其是水分超標，出現(xiàn)六氟化硫微水過多的問題，在高壓電弧的作用下，就會生成亞硫酸、等有毒腐蝕性產物。六氟化硫氣體水分的危害非常大！

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