氦質譜檢漏儀（Helium Mass SpectrometerLeakDetector）為氣體工業(yè)名詞術語，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數(shù)小，因而易通過漏孔并易擴散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀（調整到僅對氦氣反應的工作狀態(tài)）的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。

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一般來說，下列一些緣故會導致溫度轉變，從而對檢測造成危害：1、充氣全過程中氣體分子結構磨擦熱普遍狀況：充氣全過程中氣體分子結構磨擦會造成發(fā)熱量造成，依據(jù)氣體式子PV=NRT，所知會造成檢測腔體內部工作壓力上升，當充氣完畢后溫度又會遲緩修復到一切正常的室內溫度，因而充氣完畢后的穩(wěn)壓管時間假如不充足，即到測試階段腔體內部溫度仍出自于下降的回應期，那麼從而溫度下降所造成的工作壓力下降就會立即體現(xiàn)到儀器設備所檢測的泄露量中。危害:在測試階段泄露量由大縮小直到保持穩(wěn)定。

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