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壓阻式壓力傳感器的壓力敏感元件是壓阻元件,它是基于壓阻效應(yīng)工作的,所謂壓阻元件實(shí)際上就是指在半導(dǎo)體材料的基片上用集成電路工藝制成的擴(kuò)散電阻,當(dāng)它受外力作用時(shí),其阻值由于電阻率的變化而改變,擴(kuò)散電阻正常工作時(shí)需依附于彈性元件,常用的是單晶硅膜片。
壓阻式壓力傳感器壓阻芯片采用周邊固定的硅杯結(jié)構(gòu),封裝在外殼內(nèi),在一塊圓形的單晶硅膜片上,布置四個(gè)擴(kuò)散電阻,應(yīng)變式壓力傳感器,兩片位于受壓應(yīng)力區(qū),另外兩片位于受拉應(yīng)力區(qū),它們組成一個(gè)全橋測量電路。
硅膜片用一個(gè)圓形硅杯固定,兩邊有兩個(gè)壓力腔,一個(gè)和被測壓力相連接的高壓腔,另一個(gè)是低壓腔,接參考?jí)毫?,通常和壓大氣相通,?dāng)存在壓差時(shí),膜片產(chǎn)生變形,使兩對(duì)電阻的阻值發(fā)生變化,電橋失去平衡,其輸出電壓反映膜片兩邊承受的壓差大小。
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組合式應(yīng)變壓力傳感器中,其彈性的敏感元件可分為感觸元件和彈性應(yīng)變?cè)?,其中感觸元件把壓力轉(zhuǎn)換為力傳遞到彈性應(yīng)變?cè)?yīng)變敏感的部位,而應(yīng)變片則貼在彈性應(yīng)變?cè)闹链髴?yīng)變處,實(shí)踐上,較龐雜的應(yīng)變管式和應(yīng)變梁式都屬于這種型式。
感觸元件有膜片、膜盒、波紋管、波登管等,彈性應(yīng)變?cè)袘冶哿?、固定梁、Π形梁、環(huán)形梁、薄壁筒等,它們之間可依據(jù)不同須要組合成多種型式,應(yīng)變式壓力傳感器重要用來測量流動(dòng)介質(zhì)動(dòng)態(tài)或動(dòng)態(tài)壓力,例如能源管道裝備的進(jìn)出口吻體或液體的壓力、內(nèi)燃機(jī)管道壓力等。
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電容式壓力變送器接近開關(guān)的檢測面由兩個(gè)同軸金屬電極構(gòu)成r根像打開的電存器電極,該電極串接在Rc振蕩盧I路內(nèi),當(dāng)榆測物接近檢洲師時(shí),電極的容量產(chǎn)生變化,使振蕩器起報(bào),通過后級(jí)格形放大轉(zhuǎn)換成開關(guān)信呼。
在電容式壓力變送器接近丌戈表面所產(chǎn)生的靜電場是平衡的,應(yīng)變式壓力傳感器生產(chǎn)廠家批發(fā),任何有定厚度的介質(zhì)兩邊也有個(gè)半衡的靜電場,當(dāng)介質(zhì)接近電容式壓力變送器接近丌關(guān)的頭部時(shí),電容式壓力變送器接墟表面原柯的平衡電場被扣破,這樣就使得接近開關(guān)內(nèi)部的振蕩器工作然后通過放大、比較等,應(yīng)變式壓力傳感器工廠,接近開關(guān)就有一個(gè)信號(hào)輸出。
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