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六氟化硫是一種無色、無臭、無毒、不燃的惰性氣體,它的分子量為146.07,在20℃和0.1 MPa時密度為6.1kg/m3,約為空氣密度的5倍。
包裝方法:鋼質氣瓶運輸注意事項:鐵路運輸時需經生物試驗證明合格,聊城六氟化硫,根據(jù)合格證托運。采用剛瓶運輸時必須戴好鋼瓶上的安全帽。鋼瓶一般平放,并應將瓶口朝同一方向,不可交叉;高度不得超過車輛的防護欄板,并用三角木墊卡牢,防止?jié)L動。嚴禁與易i燃物或可燃物、氧化劑等混裝混運。夏季應早晚運輸,防止日光曝曬。鐵路運輸時要禁止溜放。
六氟化硫是一種無色、無臭、無毒、不燃的惰性氣體,它的分子量為146.07,在20℃和0.1 MPa時密度為6.1kg/m3,約為空氣密度的5倍
操作注意事項:密閉操作,六氟化硫公司,局部排風。操作人員必須經過專門培訓,嚴格遵守操作規(guī)程。建議操作人員佩戴過濾式防毒面具(半面罩)。遠離易i燃、可燃物。防止氣體泄漏到工作場所空氣中。避免與氧化劑接觸。搬運時輕裝輕卸,防止鋼瓶及附件破損。配備泄漏應急處理設備。
六氟化硫的使用可以增加設備運行的安全性、縮小設備體積、延長設備壽命。近幾年,國家大力發(fā)展基礎電力行業(yè),給六氟化硫廠家?guī)砹撕艽蟮氖袌鰴C遇。
高純六氟化硫(純度在99.99%以上),國內需求非常旺盛,而且附加值較高。
高純六氟化硫主要用于半導體工業(yè)中作清洗氣體。
六氟化硫的成本只有NF3的幾分之一,六氟化硫廠家,近年來,各公司以廉價的SF6取代以往CVD工藝中作為清洗氣體的NF3的新技術正被廣泛研究。
該技術在大幅降低液晶產品加工中占相當比例的CVD氣體成本的同時,還顯示出了極i佳的環(huán)保前景,近年來用量有明顯的提高。
據(jù)權i威機構預測,2010年我國將成為僅次于美國的大集成電路市場,總需求量約為500億美元。目前國內使用高純六氟化硫作為蝕刻氣的生產線約有50條左右預計。2016年將達到700噸左右,
國內使用六氟化硫作為蝕刻氣的生產線有近50條,在未來的五年預計將有20條至30條新線建成。每年約消耗高純六氟化硫為600噸左右。而國內高純六氟化硫產品遠遠不能滿足市場需求,半導體廠家所用高純產品大部分依賴進口,這給高純六氟化企業(yè)提供更多的發(fā)展機遇。
企業(yè): 江蘇凱美電子材料有限公司
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