Leybold萊寶真空泵的主要特點(diǎn):1. 萊寶真空泵浦從一大氣壓到終l極壓力之間皆可運(yùn)轉(zhuǎn)使用2. 在低真空壓下，萊寶真空泵浦仍可保持良好的抽氣速度3. 萊寶真空PUMP低噪音、低震動(dòng)。4. LEYBOLD PUMP內(nèi)置出口濾心，愛德華真空泵出售，可達(dá)99.9%的油氣過濾效果5. 超l強(qiáng)的排除水蒸氣的功能6. 空氣冷卻，上海愛德華真空泵，經(jīng)濟(jì)方便<也可選擇水冷冷卻>7. 進(jìn)氣口配置有止回閥，避免泵浦停止時(shí)，真空油會(huì)逆流8. 結(jié)構(gòu)緊湊、體積小、節(jié)省空間



9. 非常容易保養(yǎng)  

分子泵

分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場(chǎng)合是用來代替低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長。為了提高抽速，國外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃～-150℃的低溫冷板，愛德華真空泵供應(yīng)，稱之為低溫分子泵，水蒸氣被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)用，既提高了生產(chǎn)效率又改善了膜層質(zhì)量。隨著中國半導(dǎo)體工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)和科學(xué)研究事業(yè)迅速發(fā)展，分子泵應(yīng)該是中國真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點(diǎn)。首先，分子泵要從小到大建立完整系列，以滿足不同場(chǎng)合的需要。

氣體捕集泵這種泵是一種是氣體分子被吸附或凝結(jié)在泵的內(nèi)表面上，愛德華真空泵批發(fā)，從而減小了容器內(nèi)的氣體分子數(shù)目而達(dá)到抽氣目的的真空泵，有以下幾種型式。吸附泵：它主要依靠具有大表面的吸附劑（如多孔物質(zhì)）的物理吸附作用來抽氣的一種捕集式真空泵吸氣劑泵：它是一種利用吸氣劑以化學(xué)結(jié)合方式捕獲氣體的真空泵。吸氣劑通常是以塊狀或沉積新鮮薄膜形式存在的金屬或合金。升華泵即屬于這種形式。吸氣劑離子泵：它是使被電離的氣體通過電磁場(chǎng)或電場(chǎng)的作用吸附在有吸氣材料的表面上，以達(dá)到抽氣的目的。它有如下幾種型式。

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