1868 年霍爾曼（ Hollman ）研究了臭氧的熱化學(xué)特性。把不同的氣體（ H2 和 C2H2 ）在純氧氣體中燃燒時(shí)所釋放出的熱，大廈高壓高溫蒸汽清潔機(jī)，與同一氣體在臭氧氣體中燃燒時(shí)所產(chǎn)生的熱量相比較，發(fā)現(xiàn)有臭氧存在時(shí)釋放的熱量總要大一些。由于知道 O3 /O2 混合氣體濃度（ 1 ％～ 2 ％質(zhì)量）以及臭氧存在時(shí)放出的熱量，就能計(jì)算出每克臭氧變成氧氣所放出的熱量。

1857 年，馮 ． 西門斯研制出了臭氧發(fā)生管，全屋消毒高壓高溫蒸汽清潔機(jī)，臭氧技術(shù)有了很大進(jìn)步。這種類型的臭氧發(fā)生器，成為當(dāng)時(shí)大量應(yīng)用的放電臭氧發(fā)生器的原型。西門斯臺(tái)臭氧發(fā)生器基本上是由兩根玻璃管構(gòu)成的，外管外壁和內(nèi)管內(nèi)壁均用錫箔覆蓋，空氣原料氣流從環(huán)狀空間通過。內(nèi)管內(nèi)壁和外管外壁的金屬表面聯(lián)結(jié)到電感線圈或電機(jī)接線柱上。用這種裝置，干燥氧氣的 3 ％～ 8 ％可能轉(zhuǎn)化為臭氧。布羅迪（ Brodie) 和伯塞樂（ Bertholet) 采用此種設(shè)備的改型，他們都用電解液取代金屬電極給臭氧發(fā)生過程起到一定的冷卻作用。

臭氧具有很強(qiáng)的氧化性，除了金和鉑外，臭氧化空氣幾乎對(duì)所有的金屬都有腐蝕作用。鋁、鋅、鉛與臭氧接觸會(huì)被強(qiáng)烈氧化，高壓高溫蒸汽清潔機(jī)，但含鉻鐵合金基本上不受臭氧腐蝕?；谶@一點(diǎn)，生產(chǎn)上常使用含 25 ％ Cr 的鉻鐵合金（不銹鋼）來制造臭氧發(fā)生設(shè)備和加注設(shè)備中與臭氧直接接觸的部件。臭氧對(duì)非金屬材料也有了強(qiáng)烈的腐蝕作用，廚房高壓高溫蒸汽清潔機(jī)，即使在別處使用得相當(dāng)穩(wěn)定得聚塑料濾板等，在臭氧加注設(shè)備中使用不久便見疏松、開裂和穿孔。在臭氧發(fā)生設(shè)備和計(jì)量設(shè)備中，不能用普通橡膠作密封材料，必須采用耐腐蝕能力強(qiáng)的硅橡膠或耐酸橡膠等。

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