半導(dǎo)體、集成電路生產(chǎn)的無塵車間要求

半導(dǎo)體材料提純作為發(fā)展半導(dǎo)體器件的重要基礎(chǔ)。由于大規(guī)模和超大規(guī)模集成電路的工藝要求，為得到高純度的硅材料，潔凈室無塵室，原料和中間媒介的高純度和生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度成為影響產(chǎn)品質(zhì)量的一個(gè)突出問題。集成電路芯片的成品率與芯片的缺陷密度有關(guān)，而芯片的缺陷密度與空氣中粒子個(gè)數(shù)有關(guān)。因此，集成電路的高速發(fā)展，不僅對空氣中控制粒子的尺寸有極高的要求，而且也需進(jìn)一步控制粒子數(shù)；同時(shí)，對于超大規(guī)模集成電路生產(chǎn)環(huán)境的化學(xué)污染控制也有相關(guān)的要求。

早期的工業(yè)潔凈室

個(gè)工業(yè)生產(chǎn)用潔凈室是在第二次世界1大戰(zhàn)中投入使用的，其主要目的是提高槍1械、坦克、飛機(jī)用儀器的質(zhì)量和可靠性。那時(shí)人們認(rèn)識到，潔凈室工程公司排名，必須提高生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度，否則投彈瞄準(zhǔn)器這樣的裝置就會出現(xiàn)故障。但當(dāng)時(shí)只要假定潔凈室要保持得象人們的住房那樣清潔，于是便使用了不產(chǎn)生粒子的不銹鋼做表面裝修并保持其清潔。但人們還沒有認(rèn)識到，阜陽潔凈室，由機(jī)器和人員產(chǎn)生的大量懸浮粒子之?dāng)U散，應(yīng)由大量的潔凈送風(fēng)使之降至zui低。

凈化車間使用FFU的注意事項(xiàng)

利用FFU解決凈化工程存在的問題，利用FFU可以節(jié)省空間，解決凈化車間吊頂頂端維修空間狹小的問題。由于高1級別的凈化車間(如百級間)需要百級甚至十級層流罩用以解決工藝需求，潔凈室吊頂上部將設(shè)立一個(gè)個(gè)巨大的送風(fēng)靜壓箱，靜壓箱內(nèi)設(shè)立通風(fēng)機(jī)，這些靜壓箱連同送風(fēng)管、回風(fēng)管占據(jù)了很大的空間，使得維修空間變的狹小，有時(shí)甚至影響消防通道的使用。

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