大理石切割

大理石切割實驗

采用的天然大理石工件尺寸為１２０ｍｍ×１１１１１．６７４１２０ｍｍ×４００ｍｍ，半導(dǎo)體用環(huán)形線，邵氏硬度為３６．４～４４．２，使用環(huán)形電鍍金剛石線鋸切割，切片厚度為２ｍｍ。

環(huán)形金剛石線鋸鋸絲以直徑 Φ０．５ｍｍ 的不銹鋼絲為基體材料，金剛石磨粒大小為１２０～１４０目，線鋸直徑０．6５ｍｍ，鋸絲張緊力為１５０Ｎ。

半導(dǎo)體用環(huán)形線出現(xiàn)后常常與其他切割方式進(jìn)行對比，其逐漸取代了帶鋸和磁材行業(yè)廣泛應(yīng)用的內(nèi)圓切割機(jī)。

帶鋸切割硬脆貴重晶體時的切口大、切割應(yīng)力大、切割晶體邊緣有崩邊甚至晶體開裂。內(nèi)外圓鋸切割受圓鋸片剛度限制切割尺寸一般小于200mm 且切割直溝槽時工藝性差。

半導(dǎo)體用環(huán)形線切割應(yīng)力小、切割質(zhì)量好等特點環(huán)線切割工藝正逐漸應(yīng)用于硬脆材料如硅、碳化硅和藍(lán)寶石切割中。

如何延長金剛石鋸絲的使用壽命是所有線切割使用者關(guān)心的問題，以下是幾點建議

延長鋸絲的使用壽命，國產(chǎn)半導(dǎo)體用環(huán)形線 ，應(yīng)采取以下措施：

（１）增加鍍層的強(qiáng)度，提高鍍層對金剛石磨粒的把持力，減少鋸絲磨損。

（２）在現(xiàn)有的實驗條件下盡可能提高機(jī)床的精度，以減小鋸絲的振動，延長鋸絲使用壽命。

（３）在切割工藝參數(shù)范圍內(nèi)進(jìn)一步提高鋸絲線速度，因為隨著線速度增大，鋸切力減小，鋸絲磨損也減少。

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