真空泵維修在信息薄膜加工中的應(yīng)用

真空技術(shù)在信息薄膜加工中的應(yīng)用

近半個世紀(jì)的歷史表明,電子學(xué)器件的發(fā)展對人類社會起了很大的推動作用,每一種新的電子器件出現(xiàn)都對科學(xué)技術(shù)和生產(chǎn)的發(fā)展起了積極的促進(jìn)作用。電子管的誕生是真空科學(xué)技術(shù)充分發(fā)展的結(jié)果。微電子器件的發(fā)展是基于材料的超純和微細(xì)加工高精技術(shù)的提高,其中很多加工過程都與真空技術(shù)有關(guān)。

微電子器件是現(xiàn)代高速計算機(jī)和個人計算機(jī)的基礎(chǔ),當(dāng)今在某些發(fā)達(dá)國家,微電子和計算機(jī)工業(yè)已經(jīng)超過了能源、材料、交通和鋼鐵工業(yè)而占國民經(jīng)濟(jì)產(chǎn)值的前位。在電子工業(yè)和計算機(jī)工業(yè)的發(fā)展中,真空科學(xué)與技術(shù)做出了重要貢獻(xiàn)。

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真空泵維修在信息薄膜加工中的應(yīng)用

近些年北京大學(xué)和科學(xué)院北京真空物理實驗室重點研究有機(jī)復(fù)合薄膜的超高密度信息存儲器件，其制備的關(guān)鍵技術(shù)是納米厚度的高質(zhì)量功能薄膜。當(dāng)今的薄膜形成過程中能夠保持真空純潔環(huán)境，故可以得到高質(zhì)量的薄膜。物理氣相沉積（PVD）技術(shù)主要有蒸發(fā)、濺射鍍、離子鍍、分束外延和離子團(tuán)束鍍等。

在分析了真空方法制備有機(jī)功能薄膜的幾種技術(shù)后，經(jīng)比較認(rèn)為，離子團(tuán)束（ICB）沉積技術(shù)用于制備有機(jī)功能薄膜是適用的。它是將材料蒸發(fā)經(jīng)過絕熱膨脹過程，電離過程形成荷電原子團(tuán)，經(jīng)歷加速被沉積到基底上。原子在基底表面具有較大的遷移率，這有利于薄膜的成核和晶粒生長，形成高質(zhì)量的薄膜，通過控制絕熱過程，電離電壓，加速電壓和基底溫度可以制成晶體、多晶或無定形薄膜。

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真空泵維修離子鍍膜技術(shù)

PVD鍍膜技術(shù)目前主要應(yīng)用的行業(yè),PVD鍍膜技術(shù)的應(yīng)用主要分為兩大類：裝飾鍍膜和工具鍍膜。裝飾鍍的目的主要是為了改善工件的外觀裝飾性能和色澤同時使工件更耐磨耐腐蝕延長其使用壽命;這方面主要應(yīng)用五金行業(yè)的各個領(lǐng)域，如門窗五金、鎖具、衛(wèi)浴五金等行業(yè)。

工具鍍的目的主要是為了提高工件的表面硬度和耐磨性，降低表面的摩擦系數(shù)，提高工件的使用壽命;這方面主要應(yīng)用在各種刀剪、車削刀具(如車刀、刨刀、銑刀、鉆頭等等)、各種五金工具(如螺絲刀、鉗子等)、各種模具等產(chǎn)品中。

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