真空泵工作中，一定要保證合適的工作水供水量，若進(jìn)水管發(fā)生結(jié)垢及堵塞現(xiàn)象。只憑進(jìn)水壓力不能準(zhǔn)確衡量進(jìn)水供應(yīng)情況，一般可通過(guò)觀察真空泵的排水量來(lái)判斷水環(huán)的工作情況。

真空泵故障原因及排除方法

1.真空度不高

(1)真空泵溫太高，被抽氣體溫度過(guò)高。應(yīng)讓氣體冷卻后再進(jìn)入真空泵內(nèi)，

2.吸入硬物使真空泵體磨損。應(yīng)拆開(kāi)真空泵除去硬物，對(duì)劃傷部件進(jìn)行修復(fù)或更換，

3.真空泵冷卻水流不夠。應(yīng)加大冷卻水流量，

4.裝配不當(dāng)，使轉(zhuǎn)子軸心位移，造成單面磨損。應(yīng)拆開(kāi)檢查并重新裝配。

真空系統(tǒng)維修方法之:壓力檢漏法中的氣泡檢漏法　　

氣泡檢漏法就是在被檢件內(nèi)充入一定壓力的示漏氣體，然后放到液體中，如果有漏孔存在，氣體就會(huì)通過(guò)漏孔進(jìn)入周圍的液體形成氣泡，從而確定漏孔位置。同時(shí)根據(jù)充入氣體的壓力，氣泡形成的速率(每秒鐘形成的個(gè)數(shù))、大小(氣泡直徑)，結(jié)合氣體液體的性質(zhì)來(lái)大致估算漏孔的漏率。氣泡檢漏法方法簡(jiǎn)單、直觀、經(jīng)濟(jì)，但因?yàn)樾枰粰z件內(nèi)充入氣體，所以適用于能承受正壓的被檢件的氣密性檢驗(yàn)。

校準(zhǔn)真空室動(dòng)態(tài)真空度穩(wěn)定性能

根據(jù)相關(guān)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)對(duì)本裝置校準(zhǔn)范圍內(nèi)的校準(zhǔn)室在進(jìn)行動(dòng)態(tài)比對(duì)校準(zhǔn)時(shí)的真空度穩(wěn)定性能進(jìn)行檢測(cè)，從133kPa～9.5×10-5 Pa 范圍內(nèi)選擇20 個(gè)壓力點(diǎn)，每個(gè)檢測(cè)點(diǎn)停留5 分鐘，測(cè)試結(jié)果表明在133kPa～9.5×10-2 Pa 范圍內(nèi)，穩(wěn)定度可控制在2%以內(nèi)， 在9×10-2 Pa～9.5×10-5 Pa 范圍內(nèi)，萊寶SV750B真空泵維修，穩(wěn)定度可控制在1%以內(nèi)。

系統(tǒng)不確定度分析

綜合考慮GP370 離子規(guī)的不確定度指標(biāo)和校準(zhǔn)裝置的固有特性，系統(tǒng)裝置標(biāo)準(zhǔn)不確定度為4.2%，數(shù)據(jù)處理引入的不確定度為0.5%，整個(gè)裝置的合成不確定度為4.3%， 擴(kuò)展不確定度為8.6%。

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