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當(dāng)抽除含氧過高的、有性的、對黑色金屬有腐蝕性的、對真空油起化學(xué)反應(yīng)的、有水的、有塵埃的等氣體時(shí)，應(yīng)加附設(shè)裝置。本型泵可單獨(dú)使用，也可作為擴(kuò)散泵、油增壓泵、羅茨泵等高真空泵的前級泵，相對于旋片式真空泵，H型滑閥泵比較耐用，上?；y式真空泵，H滑閥式真空泵使用壽命長。該泵在真空鍍膜、真空熱處理、真空燒結(jié)、分子蒸餾、航空模擬試驗(yàn)使用較多。

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行星式滑閥泵與體積和轉(zhuǎn)速相等的其它滑閥泵比較，由于滑閥體尺寸小，抽速可增加一倍。同樣也可相應(yīng)地提高泵的轉(zhuǎn)速。但由于滑閥桿在這種結(jié)構(gòu)中擺動(dòng)很大，所以目前該結(jié)構(gòu)只宜于小型泵。

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根據(jù)被抽真空系統(tǒng)的大小及極限壓力的不同，真空機(jī)組各泵之間的名義抽速之比一般在4：至10：1之間，前者較后者適用于較大真空系統(tǒng)及長時(shí)間在較低入口壓力或極限真空情況下工作。

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