真空泵維修的應(yīng)用技術(shù)

用離子團(tuán)束和高真空沉積技術(shù)研制了用于超高密度信息存儲(chǔ)的有機(jī)和金屬有機(jī)納米薄膜，其中主要有兩類：一類是銀/有機(jī)（如Ag－CPU）復(fù)合薄膜，用掃描隧道顯微鏡（STM）的電壓脈沖寫入信號(hào)斑直徑為10nm，可以穩(wěn)定地寫入和讀出0和1信號(hào)。

用半導(dǎo)體激光器薄膜讀寫裝置（波長為780nm）研究了Ag－CPU薄膜的光學(xué)存儲(chǔ)特性，結(jié)果表明光脈沖10.4mW，寬10μs寫入信號(hào)；7.0mW，寬1ms光脈沖可以擦除信號(hào)；1.1mW可以穩(wěn)定讀取信號(hào)。

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真空泵維修技術(shù)的發(fā)展

PVD技術(shù)出現(xiàn)于二十世紀(jì)七十年代末，制備的薄膜具有高硬度、低摩擦系數(shù)、很好的耐磨性和化學(xué)穩(wěn)定性等優(yōu)點(diǎn)。之前在高速刀具領(lǐng)域的成功應(yīng)用引起了世界各國制造業(yè)的高度重視，人們?cè)陂_發(fā)、高可靠性涂層設(shè)備的同時(shí)，也在硬質(zhì)合金、陶瓷類刀具中進(jìn)行了更加深入的涂層應(yīng)用研究。

與CVD工藝相比，PVD工藝處理溫度低，在600℃以下時(shí)對(duì)刀具材料的抗彎強(qiáng)度無影響；薄膜內(nèi)部應(yīng)力狀態(tài)為壓應(yīng)力，更適于對(duì)硬質(zhì)合金精密復(fù)雜刀具的涂層；PVD工藝對(duì)環(huán)境無不利影響，符合現(xiàn)代綠色制造的發(fā)展方向。目前PVD涂層技術(shù)已普遍應(yīng)用于硬質(zhì)合金立銑刀、鉆頭、階梯鉆、油孔鉆、鉸刀、絲錐、可轉(zhuǎn)位銑刀片、異形刀具、焊接刀具等的涂層處理。

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    真空泵在真空泵維修中的作用

有機(jī)復(fù)合信息存儲(chǔ)薄膜研究取得的成果說明真空技術(shù)在未來的納米電子器件的研究中仍占有極其重要的地位。目前超高真空的獲得和測量技術(shù)已經(jīng)成熟，但更廣泛的應(yīng)用，

特別是為發(fā)展未來信息社會(huì)的關(guān)鍵技術(shù)一納米電子器件中，真空技術(shù)的應(yīng)用還是非常有吸引力的課題，大量的工作有待開發(fā)。在即將到來的21世紀(jì)，真空技術(shù)將隨著納米電子學(xué)進(jìn)入信息社會(huì)的各個(gè)領(lǐng)域，發(fā)揮越來越大的作用。

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