環(huán)形金剛石線的對比

WELLDiamondWireSawsInc.提供的環(huán)形金剛石鋸絲長度為2.25 mm， 直徑 0.5 mm， 金剛石磨粒平均尺寸為 0.64μm， 鋸絲要張緊。加工工件材料為碳化硅和硅晶體。

鋸切力由 Kistler測力儀測量。

試驗結(jié)果說明， 當鋸絲速度在 6 ～ 16 m/s之間， 進給力在 4 ～ 7 N之間時 ， 測量的切向力大于 1 ～ 4.5 N，切速快環(huán)形電鍍金剛石線 ，且法向力與切向力之比在 0.98 ～ 1.68范圍內(nèi)。

此數(shù)據(jù)對比中國的的環(huán)形線相差甚遠，目前環(huán)形金剛石線的研發(fā)和使用中國都處于優(yōu)勢地位。

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目前國內(nèi)的金剛石線鋸設(shè)備發(fā)展雖然較快，揚塵小環(huán)形電鍍金剛石線，但相對于國外設(shè)備依舊有著不小的差距。近年來我國把集成電路裝配與成套工藝列入重大科技專項，國內(nèi)企業(yè)不斷創(chuàng)新研制出具有自主知識產(chǎn)權(quán)的金剛石線切割機。

我國生產(chǎn)線鋸切割切割的單位主要有：北京微納、無錫斯達新能源科技、福州天石源超硬材料工具、泰州市晨虹數(shù)控設(shè)備、中國有色桂林礦產(chǎn)地質(zhì)研究院、鄭州元素工具等公司。

目前，國內(nèi)多家硅晶片生產(chǎn)企業(yè)已經(jīng)用上環(huán)形金剛石線截斷機，切割精度高環(huán)形電鍍金剛石線 ，158 × 158多晶硅截斷，每刀 5 分鐘，環(huán)形電鍍金剛石線，每根線平均壽命 200 刀，有些可切割 400 刀，逐漸替代帶鋸機，以服務于光伏企業(yè)進一步提高晶片生產(chǎn)效率，降低成本。

從切割各種硬脆材料的試驗效果表明環(huán)形電鍍金剛石線的切割性能優(yōu)勢明顯，線速度高達 50 ～ 60m / s，切割，多晶硅切片進給速度均在 5mm / min 以上，高達 30mm / min。這是金剛石長線鋸所無法達到的。所以，它非常適合于多晶硅、單晶硅等硬脆材料多片切割以及其它工序的切割加工。如，可以替代現(xiàn)有的金剛石帶鋸截斷機對單晶硅或多晶硅進行截斷切割加工

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