微壓力傳感器與傳統(tǒng)的比較

微壓力傳感器與傳統(tǒng)的比較采用半導(dǎo)體材料和MEMS工藝制造的新型壓力傳感器。與傳統(tǒng)壓力傳感器相比，微壓力傳感器具有精度高、靈敏度高、動(dòng)態(tài)特性好、體積小、耐腐蝕、成本低等優(yōu)點(diǎn)。純單晶硅的材料疲勞小，采用這種材料制造的微壓力傳感器的長(zhǎng)期穩(wěn)定性好。同時(shí)，微壓力傳感器易于與微溫度傳感器集成，增加溫度補(bǔ)償精度，大幅提高傳感器的溫度特性和測(cè)量精度。如果將2個(gè)微壓力傳感器集成，又可以實(shí)現(xiàn)靜壓補(bǔ)償，從而提高壓力傳感器的靜壓特性。由此可見，微壓力傳感器具有許多傳統(tǒng)壓力傳感器不具備的優(yōu)點(diǎn)，能夠很好地滿足石化行業(yè)對(duì)壓力傳感器的需求。壓力傳感器所用的元件材料是具有壓阻效應(yīng)的單晶硅、擴(kuò)散摻雜硅和多晶硅。根據(jù)晶體不受定向應(yīng)力時(shí)，應(yīng)變式壓力傳感器，電導(dǎo)率是同性的，只有受定向應(yīng)力時(shí)才表現(xiàn)出各向異性，由于應(yīng)力能引起能帶的變化，能谷能量移動(dòng)，導(dǎo)致電阻率的變化，于是就有電阻的變化，氣體壓力傳感器，從而產(chǎn)生壓阻效應(yīng)。單晶硅效應(yīng)包括n型和p型硅壓阻效應(yīng)。選用擴(kuò)散硅目的在于在設(shè)計(jì)制造壓力傳感器時(shí)可根據(jù)不同溫度下硅擴(kuò)散層的壓阻特性選擇合適的擴(kuò)散條件，力求使壓力傳感器具有良好的性能。多晶硅在傳感器中有廣泛的用途，可作為微結(jié)構(gòu)和填充材料、敏感材料。

潛水設(shè)備需要用到哪些壓力傳感器?

潛水設(shè)備需要用到哪些壓力傳感器？眾所周知，各種潛水設(shè)備的技術(shù)發(fā)展中對(duì)探測(cè)技術(shù)要求越來(lái)越高。而隨著節(jié)能減排和智能網(wǎng)聯(lián)的火熱發(fā)展，更是進(jìn)一步助推各種智能設(shè)備將作為傳感器載體的勢(shì)頭。但由于潛水器的體積和載荷的限制，綜合導(dǎo)航顯示控制系統(tǒng)使用的傳感器必須體積小、重量輕、耐高壓，高溫壓力傳感器，并且在功能上要能快速、準(zhǔn)確地獲得潛水器的航行參數(shù)。為了提高潛水器的深潛能力，潛水器都配備有綜合導(dǎo)航顯示控制系統(tǒng)，確保潛水器能夠的潛航，順利完成各種水底作業(yè)任務(wù)。在測(cè)量海水的溫度、壓力、深度、密度等狀態(tài)參數(shù)方面，硅壓阻式壓力傳感器能將上述海水的四種狀態(tài)參數(shù)測(cè)量于一體，而且在精度、體積、重量上都能很好地滿足系統(tǒng)設(shè)計(jì)的要求，是一種非常適合用于潛水器上的傳感器。

壓力傳感器在汽車發(fā)動(dòng)機(jī)上的應(yīng)用壓力傳感器在汽車發(fā)動(dòng)機(jī)測(cè)試分為性能試驗(yàn)和專項(xiàng)試驗(yàn)，性能試驗(yàn)包括動(dòng)力性、經(jīng)濟(jì)性、可靠性和耐久性等，專項(xiàng)試驗(yàn)是為特定目的進(jìn)行的試驗(yàn)，如熱沖擊試驗(yàn)、排放試驗(yàn)、溫度場(chǎng)試驗(yàn)、熱平衡試驗(yàn)等。衡量發(fā)動(dòng)機(jī)動(dòng)力性和經(jīng)濟(jì)性的指標(biāo)主要有：功率、扭矩、轉(zhuǎn)速、燃油消耗等，在發(fā)動(dòng)機(jī)常規(guī)性能試驗(yàn)中測(cè)量的參數(shù)有發(fā)動(dòng)機(jī)的功率、扭矩、轉(zhuǎn)速、燃油消耗量和燃油消耗率、燃油溫度、潤(rùn)滑油壓力和溫度、進(jìn)氣壓力和溫度、排氣溫度和壓力、冷卻水的進(jìn)出口溫度等。發(fā)動(dòng)機(jī)測(cè)試中常用設(shè)備：測(cè)功器、油耗儀，控制發(fā)動(dòng)機(jī)油門的執(zhí)行機(jī)構(gòu)以及各種轉(zhuǎn)速、溫度、壓力測(cè)量的傳感器和二次儀表，還有用于各種流體測(cè)量的流量?jī)x，如空氣流量計(jì)等，廢氣取樣及廢氣分析儀器等設(shè)備進(jìn)行汽車排放標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量發(fā)動(dòng)機(jī)測(cè)試分生產(chǎn)過(guò)程的檢測(cè)和研發(fā)過(guò)程的測(cè)試。1、表壓型用于機(jī)油，冷卻油壓力，空氣壓力等測(cè)量。2、差壓型用于進(jìn)出氣流量及液體(水及油等)的流量等測(cè)量。3、大氣壓型，用于系統(tǒng)做校準(zhǔn)的參數(shù)。4、真空壓變送器，用于管路的真空壓力測(cè)量。5、絕壓變送器，相當(dāng)于表壓及真空壓力測(cè)量。但輸出是單極的應(yīng)用系統(tǒng)。汽車發(fā)動(dòng)機(jī)測(cè)試壓力傳感器要求一般為：壓力量程：-20KPa，河北壓力傳感器，80KPa，大氣壓，200KPa400KPa，1MPa;精度< /-0.1%或0.25%FS;輸出有0～5V或4～20mA;工作溫度-40～125°C或-20??80°C

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