真空泵維修的應(yīng)用技術(shù)

用離子團(tuán)束和高真空沉積技術(shù)研制了用于超高密度信息存儲的有機(jī)和金屬有機(jī)納米薄膜，其中主要有兩類：一類是銀/有機(jī)（如Ag－CPU）復(fù)合薄膜，用掃描隧道顯微鏡（STM）的電壓脈沖寫入信號斑直徑為10nm，可以穩(wěn)定地寫入和讀出0和1信號。

用半導(dǎo)體激光器薄膜讀寫裝置（波長為780nm）研究了Ag－CPU薄膜的光學(xué)存儲特性，結(jié)果表明光脈沖10.4mW，寬10μs寫入信號；7.0mW，寬1ms光脈沖可以擦除信號；1.1mW可以穩(wěn)定讀取信號。

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真空泵維修在信息薄膜加工中的應(yīng)用

早用于廣播、通信和雷達(dá)的電子器件是真空電子管,主要是控制由陰極發(fā)射到真空中的自由電子,用于信號的振蕩、調(diào)制、發(fā)射、檢測、放大、存儲和加工.電子管器件的制造,要求真空衛(wèi)生和真空純潔,微電子器件的產(chǎn)生是建立在高純鍺、硅材料的基礎(chǔ)上的，在材料和器件加工過程中，要求保持比高純還好的半導(dǎo)體純和高度有序的晶體結(jié)構(gòu)。

而微電子器件的下一代的納米電子器件，要求所用材料和組裝加工過程應(yīng)該好于半導(dǎo)體純，更少的雜質(zhì)和缺陷，更完善的晶體結(jié)構(gòu)，所以在研究納米電子器件時，將更多地采用高真空，甚至超高真空進(jìn)行材料制備和器件組裝。

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真空泵維修的保養(yǎng)維護(hù)方法

針對真空泵維修使用過程中出現(xiàn)的一些問題，真空泵維修總結(jié)出了以下關(guān)于真空鍍膜機(jī)真空泵的日常保養(yǎng)以及維護(hù)方法。

1、開動電機(jī)，當(dāng)真空泵正常運(yùn)轉(zhuǎn)后，打開出口壓力表和滑閥真空泵，視其顯示出適當(dāng)壓力后，逐漸打開閘閥，同時檢查電機(jī)負(fù)荷情況。

2、盡量控制真空泵的流量和揚(yáng)程在標(biāo)牌上注明的范圍內(nèi)，以保證真空泵在點(diǎn)運(yùn)轉(zhuǎn)，才能提高節(jié)能的效果。

3、真空泵在運(yùn)行過程中，軸承溫度不能超過環(huán)境溫度35℃，上至溫度不得超過80℃。

4、如發(fā)現(xiàn)真空泵有異常聲音應(yīng)立即停車檢查原因。

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