真空泵維修方法制備有機功能薄膜的技術(shù)

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1012bit／cm2稱為超高密度信息存儲,主要是數(shù)字0和1的存儲,安是納米電子學(xué)的基礎(chǔ)。每個信息存儲點的尺寸小于10nm,它含有的原子數(shù)有限。作為功能點與傳統(tǒng)的元件相比,它的特征是體積更小（<109個原子）、材料更純（雜質(zhì)缺陷<10-8）、信號功率更低（<10-12焦耳）、信號的寫入讀出的響應(yīng)速度快（<納秒）。因此，超高密度信息存儲的研究要求發(fā)展新理論、新材料和新的組裝加工技術(shù)。

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輔助抽氣系統(tǒng)：

排氣系統(tǒng)為鍍膜機真空系統(tǒng)的重要部分，主要有由機械泵、增壓泵(主要介紹羅茨泵)、油擴散泵三大部分組成。此排氣系統(tǒng)采用“擴散泵 機械泵 羅茨泵 低溫冷阱 polycold”組成。

排氣流程為：

    機械泵先將真空腔抽至小于2.0*10-2PA左右的低真空狀態(tài)，為擴散泵后繼抽真空提供前提，之后當(dāng)擴散泵抽真空腔的時候，機械泵又配合油擴散泵組成串聯(lián)，以這樣的方式完成抽氣動作。

機械泵：也叫前級泵，機械泵是應(yīng)用廣泛的一種低真空泵，它是用油來保持密封效果并依靠機械的方法不斷的改變泵內(nèi)吸氣空腔的體積，使被抽容器內(nèi)氣體的體積不斷膨脹從而獲得真空。

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真空泵維修的應(yīng)用技術(shù)

另一類是有機給體/有機受體（如m－NBMN/DAB）納米薄膜，其電脈沖信號寫入直徑1.3nm，相應(yīng)的數(shù)據(jù)記錄密度為1013bit/cm2。所記錄的信號是穩(wěn)定的，對寫入信號點進(jìn)行掃描隧道譜（STS）分析，表明在信號寫入前薄膜是絕緣體，寫入以后，呈導(dǎo)體特性。

此種薄膜也可以用光信號進(jìn)行穩(wěn)定的寫入和讀數(shù)。國外同行對此結(jié)果給予了高度評價，認(rèn)為已經(jīng)接近了納米功能元件的極限。

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