硅片減薄機(jī)技術(shù)的原理：當(dāng)前主流晶圓減薄機(jī)的整體技術(shù)采用了磨削原理設(shè)計(jì).為了實(shí)現(xiàn)晶圓的延性域磨削，提高減薄質(zhì)量，通過(guò)減小砂輪軸向進(jìn)給速度實(shí)現(xiàn)微小磨削深度,因此，要求設(shè)備的進(jìn)給運(yùn)動(dòng)分辨率小于0.1Ixm,進(jìn)給速度1ixrn/min. 另外，為了提高減薄工藝的效率,進(jìn)給系統(tǒng)在滿足低速進(jìn)給的前提下，要盡可能實(shí)現(xiàn)高速返回。國(guó)內(nèi)外減薄機(jī)現(xiàn)狀：國(guó)外硅片超精密磨床制造起步較早，發(fā)展迅速，浙江自動(dòng)研磨減薄機(jī)大全，技術(shù)先進(jìn)其中美國(guó),德國(guó)，日本等發(fā)達(dá)國(guó)家生產(chǎn)的硅片超精密磨床技術(shù)成熟,表示著減薄機(jī)較高水平，浙江自動(dòng)研磨減薄機(jī)大全。目前國(guó)外生產(chǎn)的減薄機(jī)具有高精度,高集成化，浙江自動(dòng)研磨減薄機(jī)大全,自動(dòng)化,加工硅片大尺寸化,超薄化等特點(diǎn)。臥式藍(lán)寶石減薄機(jī)一般加工直接在200mm以內(nèi)的工件。浙江自動(dòng)研磨減薄機(jī)大全

液晶玻璃減薄機(jī)，包括操作臺(tái)，操作臺(tái)的頂部前后兩端對(duì)稱設(shè)有兩個(gè)橫向設(shè)置的滑軌，兩個(gè)滑軌上對(duì)稱滑動(dòng)連接的首先滑塊之間通過(guò)連接板連接，兩個(gè)首先滑塊的頂部通過(guò)倒U形支座，倒U形支座頂部的直角梯形支座斜面通過(guò)支桿與夾裝有液晶玻璃的夾具固定連接，操作臺(tái)的頂部中間位置設(shè)有橫向設(shè)置的倒U形支架，倒U形支架上左右對(duì)稱設(shè)有兩個(gè)立板，立板前側(cè)面的滑槽上滑動(dòng)連接有第二滑塊，第二滑塊前側(cè)面固定螺接有L形支板，L形支板頂部左側(cè)設(shè)有縱向設(shè)置的出液管道，出液管道的底部等距離排列設(shè)有若干噴嘴，噴嘴的內(nèi)側(cè)設(shè)有與L形支板螺接連接的導(dǎo)流板，操作臺(tái)上且位于兩個(gè)滑軌的內(nèi)側(cè)左右對(duì)稱設(shè)有兩個(gè)與立板垂直對(duì)稱設(shè)置的集液槽。浙江自動(dòng)研磨減薄機(jī)大全全自動(dòng)減薄機(jī)是配有全自動(dòng)上、下片系統(tǒng)的高精度研削設(shè)備。

藍(lán)寶石減橫機(jī)是一款用于加工藍(lán)寶石、光學(xué)玻璃、硅片、石英等晶體材料進(jìn)行研磨和減橫的機(jī)器。該減橫機(jī)由吸盤、砂輪、砂輪主軸及驅(qū)動(dòng)組件、絲桿進(jìn)給組件等組成。吸盤可分為電磁吸盤和真空吸盤，其直徑大小一般為320-600mm。砂輪的大小事根據(jù)藍(lán)寶石減橫機(jī)直徑大小來(lái)定，一般有150-170-210mm的規(guī)格，砂輪的顆粒度是根據(jù)客戶對(duì)工藝的要求定制。砂輪主軸采用精密的高速旋轉(zhuǎn)電主軸，驅(qū)動(dòng)方式為變頻調(diào)速轉(zhuǎn)速，可根據(jù)藍(lán)寶石減橫機(jī)不同的工藝要求由PLC控制系統(tǒng)支持的驅(qū)動(dòng)模式而相應(yīng)改變轉(zhuǎn)速3000-8000轉(zhuǎn)可調(diào)。

硅片酸洗減薄機(jī)通過(guò)旋轉(zhuǎn)提籃帶動(dòng)硅片在裝有酸液的箱體內(nèi)旋轉(zhuǎn)，旋轉(zhuǎn)的同時(shí)實(shí)現(xiàn)減薄，對(duì)于原始硅片有效的控制了單片均勻性、重復(fù)性和穩(wěn)定性，提高了極終成品率；旋轉(zhuǎn)提籃的圓柱狀圍籠對(duì)硅片具有盛裝并固定位置的作用，防止由于硅片在圍籠內(nèi)晃動(dòng)導(dǎo)致碎片，安全可靠；由于圓柱狀圍籠底部沿其長(zhǎng)度方向均勻設(shè)有多個(gè)隔棱，則可實(shí)現(xiàn)大量硅片的同時(shí)裝夾，實(shí)現(xiàn)硅片減薄的批量生產(chǎn)，明顯提高了工作效率，同時(shí)也方便了對(duì)硅片的夾裝工作，一致性好；伺服電機(jī)可帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)提籃在一定周期內(nèi)交替正、反轉(zhuǎn)，明顯增強(qiáng)硅片表面的減薄均勻性；藍(lán)寶石減薄機(jī)具有非常高精密的加工能力及雙面平行度控制能力。

晶圓加工減薄機(jī)，其可使用自動(dòng)送料匣來(lái)供應(yīng)待加工的晶圓，而可構(gòu)成自動(dòng)化生產(chǎn)設(shè)備，減少人力的成本，并增加產(chǎn)量，滿足使用上的需求。晶圓加工減薄機(jī)，包含一自動(dòng)送料匣、多個(gè)晶圓固定元件與一晶圓加工減薄裝置，其中該自動(dòng)送料匣具有多個(gè)容置槽，該多個(gè)晶圓固定元件存放于該多個(gè)容置槽中，該多個(gè)晶圓固定元件分別具有對(duì)應(yīng)放入該多個(gè)容置槽中的一鐵 環(huán)與固定于該鐵環(huán)下的一膠膜，該膠膜供黏貼一晶圓，該晶圓加工減薄裝置緊鄰該自動(dòng)送 料匣而設(shè)置，以承接該晶圓固定元件，并且該晶圓加工減薄裝置具有提供負(fù)壓的一吸盤，該吸盤吸附該膠膜的未黏貼該晶圓的一側(cè)。全自動(dòng)減薄機(jī)有全自動(dòng)上下片，干進(jìn)干出的全自動(dòng)研削系統(tǒng)；浙江自動(dòng)研磨減薄機(jī)大全

減薄機(jī)具有自動(dòng)測(cè)厚補(bǔ)償、多段研削程序、超負(fù)載等待等功能，滿足各類工藝需求；浙江自動(dòng)研磨減薄機(jī)大全

減薄機(jī)工件被放置在轉(zhuǎn)盤的若干個(gè)工位上，并通過(guò)傳送裝置的轉(zhuǎn)盤逐一傳送至打磨位置，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)中的首先驅(qū)動(dòng)組件和第二驅(qū)動(dòng)組件驅(qū)動(dòng)磨頭至打磨位置處，第三驅(qū)動(dòng)組件驅(qū)動(dòng)磨頭轉(zhuǎn)動(dòng)對(duì)轉(zhuǎn)盤位于打磨位置處的工位上的工件進(jìn)行打磨減薄。通過(guò)傳送裝置和打磨裝置之間的相互配合，加快了磨削速度，提高了生產(chǎn)效率和產(chǎn)能。傳送裝置還包括用于驅(qū)動(dòng)中心軸轉(zhuǎn)動(dòng)的第二電機(jī)，中心軸一端與轉(zhuǎn)盤固定連接，另一端安裝有首先齒輪，第二電機(jī)的輸出端安裝有與首先齒輪相嚙合的第二齒輪。傳送裝置還包括在轉(zhuǎn)盤對(duì)應(yīng)每個(gè)工位安裝的吸盤，轉(zhuǎn)盤上設(shè)置有與每個(gè)吸盤的安裝位置對(duì)應(yīng)的吸孔。浙江自動(dòng)研磨減薄機(jī)大全