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氣浮軸承的應(yīng)用
氣體靜壓的軸承在精密和超精密裝備中應(yīng)用廣泛,比如集成電路生產(chǎn)設(shè)備、平面顯示器生產(chǎn)設(shè)備、半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備、電子生產(chǎn)設(shè)備、太陽能電池生產(chǎn)設(shè)備、新型元器件生產(chǎn)設(shè)備、檢驗(yàn)和測量設(shè)備以及高精度機(jī)床等。
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氣浮軸承的分類介紹
氣體潤滑軸承形成承載氣膜的機(jī)理與液體潤滑軸承相同,故分為氣體動壓的軸承和氣體靜壓的軸承。
氣體動壓的軸承:是利用氣體在楔形空間產(chǎn)生的流體動壓力來支承載荷的。常在軸頸或軸瓦的表面做出淺螺紋槽,利用槽的泵唧作用提高承載能力。氣體動壓螺旋槽推力軸承:為氣體動壓螺旋槽推力軸承。
氣體靜壓的軸承:氣體靜壓的軸承的供氣壓力一般不超過0.6兆帕。氣體通過供氣孔進(jìn)入氣室,然后分?jǐn)?shù)路流經(jīng)節(jié)流器進(jìn)入軸承和軸頸的間隙,美國NEWWAY氣浮軸承公司,再從兩端流出軸承,在間隙內(nèi)形成支承載荷的靜壓氣膜。氣體靜壓的軸承的內(nèi)孔表面一般不開氣腔,以增大氣膜剛度,提高穩(wěn)定性。
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空氣軸承的主要類型
空氣軸承(氣浮軸承)主要類型有:動壓氣浮軸承、靜壓氣浮軸承、壓膜軸承和其它類型氣浮軸承。
動壓氣浮軸承與液體動壓的軸承的支承原理相同,只是氣體可以壓縮,為可壓縮流體潤滑軸承。
靜壓氣浮軸承的作用原理同樣與液體靜壓的軸承相同。常用的節(jié)流器有小孔、狹縫和多孔質(zhì)軸襯。高承載時(shí)也使用可變節(jié)流器。供氣壓力、節(jié)流器參數(shù)和軸承間隙三者,若匹配得當(dāng),可得到承載高、剮度大、流量小和工作穩(wěn)定的軸承。
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