FE3000反射式膜厚量測(cè)儀原理為：利用單色儀和氙燈的組合可實(shí)現(xiàn)任意波段的激發(fā)光并以此來(lái)照射熒光材料樣品，再以光譜儀對(duì)產(chǎn)生的發(fā)光光譜進(jìn)行測(cè)試并對(duì)其熒光材料特性做出評(píng)價(jià)。本系統(tǒng)采用了具有高靈敏度、高穩(wěn)定的本公司的光譜儀對(duì)光譜進(jìn)行測(cè)量。

關(guān)于冷卻水的更換沒(méi)有特定的時(shí)間要求，F(xiàn)E3000設(shè)備，可目視，發(fā)現(xiàn)水有污垢時(shí)請(qǐng)更換冷卻水。更換時(shí)請(qǐng)用自來(lái)水或是軟水（不可使用純水，如使用純水，會(huì)和空氣中的CO2結(jié)合形成酸性環(huán)境，從而導(dǎo)致冷卻裝置內(nèi)部遭到腐蝕）。

應(yīng)用范圍■ FPD

?LCD、TFT、OLED(有機(jī)EL)

■ 半導(dǎo)體、復(fù)合半導(dǎo)體

?矽半導(dǎo)體、半導(dǎo)體雷射、強(qiáng)誘電、介電常數(shù)材料

■ 資料儲(chǔ)存

?DVD、磁頭薄膜、磁性材料

■ 光學(xué)材料

?濾光片、抗反射膜

■ 平面顯示器

?液晶顯示器、薄膜電晶體、OLED

■ 薄膜

?AR膜

■ 其它

?建筑用材料

量測(cè)范圍玻璃上的二氧化鈦膜厚、膜質(zhì)分析

熒光材料樣品所反射的激發(fā)光，在積分球內(nèi)壁上反射，F(xiàn)E，并再次照射到熒光材料樣品上，發(fā)出熒光的現(xiàn)象叫做再激發(fā)。為了修正這個(gè)熒光發(fā)光的成份，F(xiàn)E-3000，如圖所示，改變Xe激發(fā)光（投光用光纖）的角度，將激發(fā)光的照射點(diǎn)改為樣品口的硫i酸鋇（或Spectralon）一面來(lái)進(jìn)行測(cè)試。這樣可以將對(duì)積分球內(nèi)壁上漫反射引起的再激發(fā)熒光成份進(jìn)行測(cè)試，實(shí)行修正。

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