磁控濺射鍍膜儀應(yīng)用廣泛

目前我國磁控濺射鍍膜儀市場銷售非常火熱，這是一項熱門的新技術(shù)，它帶給企業(yè)和廠家的不僅僅是技術(shù)，還能夠節(jié)省大量的人工運作成本，因此深受廣大用戶的青睞。

磁控濺射鍍膜設(shè)備可制備多種薄膜，不同功能的薄膜，還可沉積組分混合的混合物、化合物薄膜；磁控濺射等離子體阻抗低，從而導(dǎo)致了高放電電流，在約５００Ｖ的電壓下放電電流可從１Ａ 到１００Ａ（取決于陰極的長度）；成膜速率高，沉積速率變化范圍可從１ｎｍ／ｓ到１０ｎｍ／ｓ；成膜的一致性好，甚至是在數(shù)米長的陰極濺射的情況下，仍能保證膜層的一致性；基板溫升低；濺射出來的粒子能量約為幾十電子伏特，成膜較為致密，且膜基結(jié)合較好。

磁控濺射鍍膜設(shè)備得以廣泛的應(yīng)用是因為該技術(shù)的特點所決定的，其特點可歸納為：可制備成靶材的各種材料均可作為薄膜材料，包括各種金屬、半導(dǎo)體、鐵磁材料，以及絕緣的氧化物、陶瓷、聚合物等物質(zhì)。

另外磁控濺射調(diào)節(jié)參數(shù)則可調(diào)諧薄膜性能，尤其適合大面積鍍膜，沉積面積大膜層比較均勻。

近年來，磁控濺射鍍膜設(shè)備在我國愈發(fā)的流行，從側(cè)面反映出了我國工業(yè)發(fā)展十分迅速，今后設(shè)備取代人工的可能性是非常巨大的。

如需了解更多 磁控濺射鍍膜機(jī)的相關(guān)內(nèi)容，歡迎撥打圖片上的熱線電話！

磁控濺射法的優(yōu)勢

目前常用的制備CoPt 磁性薄膜的方法是磁控濺射法。磁控濺射法是在高真空充入適量的ya氣，在陰極(柱狀靶或平面靶)和陽極(鍍膜室壁) 之間施加幾百K 直流電壓，在鍍膜室內(nèi)產(chǎn)生磁控型異常輝光放電，使ya氣發(fā)生電離。ya離子被陰極加速并轟擊陰極靶表面，將靶材表面原子濺射出來沉積在基底表面上形成薄膜。通過更換不同材質(zhì)的靶和控制不同的濺射時間，便可以獲得不同材質(zhì)和不同厚度的薄膜。磁控濺射法具有鍍膜層與基材的結(jié)合力強(qiáng)、鍍膜層致密、均勻等優(yōu)點。

想要了解更多磁控濺射產(chǎn)品的相關(guān)內(nèi)容，請及時關(guān)注創(chuàng)世威納公司網(wǎng)站。

直流濺射法

直流濺射法要求靶材能夠?qū)碾x子轟擊過程中得到的正電荷傳遞給與其緊密接觸的陰極，從而該方法只能濺射導(dǎo)體材料，不適于絕緣材料。因為轟擊絕緣靶材時，表面的離子電荷無法中和，這將導(dǎo)致靶面電位升高，外加電壓幾乎都加在靶上，磁控濺射裝置，兩極間的離子加速與電離的機(jī)會將變小，甚至不能電離，導(dǎo)致不能連續(xù)放電甚至放電停止，濺射停止。故對于絕緣靶材或?qū)щ娦院懿畹姆墙饘侔胁?，須用射頻濺射法（RF）。

創(chuàng)世威納科技(多圖)-磁控濺射裝置由北京創(chuàng)世威納科技有限公司提供。北京創(chuàng)世威納科技有限公司為客戶提供“磁控濺射鍍膜機(jī),電子束/熱阻蒸發(fā)機(jī),ICP,RIE,IBE”等業(yè)務(wù)，公司擁有“創(chuàng)世威納”等品牌，專注于電子、電工產(chǎn)品制造設(shè)備等行業(yè)。歡迎來電垂詢，聯(lián)系人：蘇經(jīng)理。