用氦氣作為氦質(zhì)譜檢漏氣體的原因

選擇示漏氣體(示蹤氣體）的原則是：它在空氣中及真空系統(tǒng)中的含量低；檢漏儀對(duì)示漏氣體的靈敏度高；它不會(huì)對(duì)人員、環(huán)境、被檢件及檢漏儀造成污染、傷害和安全隱患；價(jià)格低。

質(zhì)譜檢漏儀通常選擇氦氣作示蹤氣體，主要原因如下：

1、氦在空氣中及真空系統(tǒng)殘余氣體中的含量極1少（在空氣中約含5.2ppm），在材料出氣中也很少，因此本底壓力小，輸出的本底電流也小。正因?yàn)楸镜仔?，由某些原因引起本底的波?dòng)，亦即本底噪聲也就小，因此微小漏率也就能反應(yīng)出來(lái)，靈敏度高。

2、氦的質(zhì)量?。ㄏ鄬?duì)分子質(zhì)量為4），易于穿過(guò)漏孔。這樣，氦較除氫以外的其他氣體通過(guò)同一漏孔的漏率就大，容易發(fā)現(xiàn)，靈敏度高。

3、氦是惰性氣體，不與被檢件器壁起化學(xué)反應(yīng)，不會(huì)污染被檢件，使用安全。

4、在氦兩側(cè)的是氫（質(zhì)荷比為2）和雙電荷原子碳（質(zhì)荷比為6），質(zhì)荷比都與氦相差較大。這樣，它們?cè)诜治銎髦械钠D(zhuǎn)半徑相差也大，容易分開(kāi)，定標(biāo)找氦峰時(shí)，不易受其他離子的干擾，因此就降低了對(duì)分析器制造精度的要求，易于加工。同時(shí)，分析器出口電極及離子源加速極的隙縫也可以加大，使更多的氦離子通過(guò)，提高了儀器靈敏度。

5、氦在被檢件及真空系統(tǒng)中不易被吸附。這樣檢出一個(gè)漏孔可以使氦信號(hào)迅速消失以便繼續(xù)進(jìn)行檢漏，提高了儀器的檢漏效率。

6.氫氣有些性能（如質(zhì)量小、易通過(guò)漏孔）比氦還好，然而由于氫一方面有易1爆危險(xiǎn)，另一方面在油擴(kuò)散泵中，由于油受熱裂解會(huì)產(chǎn)生大量的碳和氫，使氫本底極高且波動(dòng)大，以致靈敏度大大降低，所以很少采用。

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氦質(zhì)譜檢漏儀燈絲脆斷故障

檢漏技術(shù)在我國(guó)經(jīng)濟(jì)中占有非常重要的地位，被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、原子能、電力、航空、航天、、制冷、真空、汽車(chē)等行業(yè)。

氦質(zhì)譜檢漏法與泡檢漏法、壓強(qiáng)衰減法和鹵素檢漏法相比，除檢漏原理不同以外，還具有監(jiān)測(cè)靈敏度高，速度快、適用范圍廣，探索氣體無(wú)毒性、無(wú)破壞性、質(zhì)量輕等優(yōu)點(diǎn)，是諸多檢漏法中有效的方法。

氦質(zhì)譜檢漏儀在使用過(guò)程中，常見(jiàn)的故障就是燈絲脆斷，氦質(zhì)譜檢漏儀燈絲多采用鎢錸合金絲制作。因?yàn)榧冩u絲高溫使用發(fā)生再結(jié)晶以后變得很脆，再受到?jīng)_擊或震動(dòng)時(shí)極易斷裂。原因是鎢常在晶界面上孕育出微裂紋，這些微裂紋的擴(kuò)展極易造成鎢的碎斷。而鎢錸合金在變形過(guò)程中易形成孿晶，減少了堆垛層位錯(cuò)能量，降低位錯(cuò)移動(dòng)的晶界阻抗，從而使位錯(cuò)遷移率增加，促使了鎢的固溶軟化，此現(xiàn)象稱為“萊塑化效應(yīng)”。該效應(yīng)降低了氦質(zhì)譜檢漏儀燈絲在高溫下的斷裂的風(fēng)險(xiǎn)，錸濃度高時(shí)的塑化效應(yīng)降低。

鎢錸絲具有高熔點(diǎn)，高強(qiáng)度、高硬度、高塑性、高的再結(jié)晶溫度、高電阻率、低蒸汽壓、低電子逸出功和低的塑性脆性轉(zhuǎn)變溫度等優(yōu)點(diǎn)。但鎢錸絲制作的燈絲極易氧化，在真空、惰性氣體中可以保持很長(zhǎng)的使用壽命，但在氧化性氣氛中容易被碳化，降低其靈敏性并引發(fā)脆斷，在有氫氣存在的情況下，氦檢漏設(shè)備生產(chǎn)廠家，會(huì)加速碳化。

檢漏儀的保養(yǎng)注意事項(xiàng)

1.如果儀器不是每天使用，建議每周開(kāi)機(jī)檢查一下，使儀器高真空系統(tǒng)保持真空，縮短儀器使用時(shí)的開(kāi)機(jī)時(shí)間

2.拆卸儀器部件（如離子源）后，安裝時(shí)要避免安裝部位出現(xiàn)泄漏，可用儀器進(jìn)行自身檢漏。

3.適時(shí)對(duì)儀器可能出現(xiàn)的泄漏處（如放氣閥等）進(jìn)行自身檢漏，發(fā)現(xiàn)漏點(diǎn)后要及時(shí)取下清洗或固緊，以免在檢漏時(shí)干擾檢漏工作。

4.檢漏儀維修每隔一段時(shí)間保養(yǎng)油泵。（散熱口灰塵處理，和泵油的檢查更換）

5.禁止任何外來(lái)物掉在或?yàn)⒃跈z漏儀上，尤其是進(jìn)氣口中，由于氦檢漏儀為精密儀器，其存放和使用環(huán)境要保持干凈、衛(wèi)生。只有經(jīng)過(guò)培訓(xùn)或有資格的設(shè)備維護(hù)工程師，才能使用此儀器。

6.使用時(shí)，注意觀察儀器的運(yùn)行情況，一旦發(fā)現(xiàn)問(wèn)題（如較大振動(dòng)、高噪音等），儀器在運(yùn)行過(guò)程中不能移動(dòng)。渦輪分子泵處于高速運(yùn)轉(zhuǎn)中，若搬動(dòng)檢漏儀，容易使分子泵內(nèi)的葉片與轉(zhuǎn)子的筒體相碰撞。馬上切斷電源，并排除故障。

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